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本发明公开了操作粒子束系统的方法和计算机程序产品。本发明涉及粒子束系统，特别是电子束显微镜。通过操纵带电粒子束使得该束在物镜的焦平面(FP)上具有非圆形束剖面来实现在第一方向上的提高的分辨率。根据第一应用，在束剖面相对于样本的不同取向下记录...
该专利属于卡尔蔡司显微镜有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过卡尔蔡司显微镜有限责任公司授权不得商用。

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