【技术实现步骤摘要】
本技术涉及一种用于晶体生长炉的电极结构，属于半导体领域。
技术介绍
1、电极结构用于晶体生长炉，靠近晶体生长炉的温度较高（高温侧），远离晶体生长炉的温度较低（低温侧），现有技术中电极结构的铜电极外侧需要通过多个胶圈与水冷法兰进行密封，多个胶圈沿着铜电极的长度方向设置，即胶圈对铜电极的径向密封，相邻两个胶圈之间形成夹层结构，提高了设备的背底漏率和检漏难度。
2、由于位于铜电极上端的胶圈与晶体生长炉之间的距离较近，即胶圈位于高温侧，长时间使用会导致密封失效，同时由于位于铜电极上端的胶圈与晶体生长炉之间的距离较近，还会导致铜电极摆动范围受限；现有技术中电极结构的水电缆安装方向是唯一的，无法在实现水电缆多角度固定；电极连接头的锥面与水电缆进行密封，密封效果差。
技术实现思路
1、本技术的目的在于克服现有技术中存在的上述不足，而提供一种结构设计合理的用于晶体生长炉的电极结构。
2、本技术解决上述问题所采用的技术方案是：该用于晶体生长炉的电极结构，包括绝缘陶瓷环、石墨电极和铜电...
【技术保护点】
1.一种用于晶体生长炉的电极结构，包括绝缘陶瓷环（2）、石墨电极（3）和铜电极（4），所述石墨电极（3）安装在铜电极（4）的一端，且绝缘陶瓷环（2）套装在石墨电极（3）和铜电极（4）外，其特征在于：还包括旋转铜头压板（12）、旋转铜头（14）、水电缆电流馈入端（15）、紧定螺母（17）、电极连接头（18）、宝塔接头（20）、冷弯头（21）和冷却水管（22），所述铜电极（4）的另一端通过旋转铜头压板（12）安装在旋转铜头（14）上，所述旋转铜头（14）上安装有压板螺钉b（23），且压板螺钉b（23）与旋转铜头压板（12）连接，所述冷却水管（22）安装在旋转铜头（14）上...
【技术特征摘要】
1.一种用于晶体生长炉的电极结构，包括绝缘陶瓷环（2）、石墨电极（3）和铜电极（4），所述石墨电极（3）安装在铜电极（4）的一端，且绝缘陶瓷环（2）套装在石墨电极（3）和铜电极（4）外，其特征在于：还包括旋转铜头压板（12）、旋转铜头（14）、水电缆电流馈入端（15）、紧定螺母（17）、电极连接头（18）、宝塔接头（20）、冷弯头（21）和冷却水管（22），所述铜电极（4）的另一端通过旋转铜头压板（12）安装在旋转铜头（14）上，所述旋转铜头（14）上安装有压板螺钉b（23），且压板螺钉b（23）与旋转铜头压板（12）连接，所述冷却水管（22）安装在旋转铜头（14）上，所述冷却水管（22）的一端位于铜电极（4）内，所述冷却水管（22）的另一端与冷弯头（21）的一端连接，所述冷弯头（21）的另一端与宝塔接头（20）连接，所述电极连接头（18）的一端安装在旋转铜头（14）上，所述电极连接头（18）的另一端通过紧定螺母（17）与水电缆电流馈入端（15）连接。
2.根据权利要求1所述的用于晶体生长炉的电极结构，其特征在于：还包括绝缘胶圈支撑架（5）、压板螺钉a（7）、绝缘压板（8）、绝缘螺套（9）、电极限位环（10）、金属密封法兰a（25）和金属密封法兰b（26），所述绝缘压板（8）安装在绝缘胶圈支撑架（5）外，所述绝缘胶圈支撑架（5...
【专利技术属性】
技术研发人员：郭森，
申请(专利权)人：杭州晶驰机电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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