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一种用于晶体生长炉的电极结构制造技术
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下载一种用于晶体生长炉的电极结构的技术资料
文档序号:42223246
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本技术涉及一种用于晶体生长炉的电极结构,属于半导体领域。本技术包括绝缘陶瓷环、石墨电极和铜电极,石墨电极安装在铜电极的一端,且绝缘陶瓷环套装在石墨电极和铜电极外,其结构特点在于:还包括旋转铜头压板、旋转铜头、水电缆电流馈入端、紧定螺母、电极...
该专利属于杭州晶驰机电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州晶驰机电科技有限公司授权不得商用。
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