一种丙酮气体传感器及其加工方法技术

本发明专利技术属于传感器技术领域，公开了一种丙酮气体传感器及其加工方法，包括称取氧化铜、ε相WO3和氧化镍纳米颗粒，进行充分的机械混合与热处理烧结，以制备掺杂的气敏材料颗粒；将气敏材料颗粒与有机溶剂和催化剂进行球磨处理，以形成气敏材料油墨；将气敏材料油墨通过点胶的方式施加于预制备的MEMS微加热板上并干燥，在控温环境下进行热处理烧结，以形成丙酮气体传感器；采用ε相WO3和NiO修饰的CuO作为气敏材料，降低了加热板使用的温度和功耗，掺杂材料的使用还降低了对湿度的依赖性，提高了丙酮气体传感器的灵敏度和选择性，从而提升了传感器的整体性能，提供了一种低功耗、小型和高效的丙酮气体传感器。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及传感器，尤其涉及一种丙酮气体传感器及其加工方法。

技术介绍

1、近年来，随着健康意识的提升和医疗技术的进步，非侵入性医疗诊断方法受到了广泛关注。其中，通过分析人体呼出气体成分来早期诊断和监测多种疾病已成为研究的热点。呼吸气体中的挥发性有机化合物（vocs）种类繁多，其中丙酮的浓度变化与糖尿病等多种健康状况密切相关。因此，开发一种可靠、便捷的呼出丙酮监测设备，尤其是可以在家使用的便携式设备，对于实现连续的健康状态监测和改善患者生活质量具有重要意义。

2、目前，现有的呼出气体分析技术，如气相色谱-质谱法（gc-ms）、高效液相色谱法和质子转移反应质谱法（ptr-ms），虽然在检测灵敏度和准确性方面表现出色，但这些方法通常依赖于大型、昂贵且操作复杂的实验室设备，不利于家庭及日常环境中使用；此外，目前应用于丙酮检测的半导体金属氧化物（smo）化学电阻式气体传感器虽然便携，但普遍存在工作温度高、能耗大、对环境湿度敏感等局限性，这些因素均制约了这类传感器在低功耗、易用性和实际应用环境中的普及。

3、鉴于此，需要对现有技术中的呼出气本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种丙酮气体传感器的加工方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的丙酮气体传感器的加工方法，其特征在于，所述称取氧化铜、ε相WO3和氧化镍纳米颗粒，进行充分的机械混合与热处理烧结，以制备掺杂的气敏材料颗粒；具体包括：

3.根据权利要求2所述的丙酮气体传感器的加工方法，其特征在于，所述将所述气敏材料颗粒与有机溶剂和催化剂进行球磨处理，以形成气敏材料油墨；具体包括：

4.根据权利要求1所述的丙酮气体传感器的加工方法，其特征在于，将所述气敏材料油墨通过点胶的方式施加于预制备的MEMS微加热板上并干燥，具体包括：

5.根据权利要求1所述...

【技术特征摘要】

1.一种丙酮气体传感器的加工方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的丙酮气体传感器的加工方法，其特征在于，所述称取氧化铜、ε相wo3和氧化镍纳米颗粒，进行充分的机械混合与热处理烧结，以制备掺杂的气敏材料颗粒；具体包括：

3.根据权利要求2所述的丙酮气体传感器的加工方法，其特征在于，所述将所述气敏材料颗粒与有机溶剂和催化剂进行球磨处理，以形成气敏材料油墨；具体包括：

4.根据权利要求1所述的丙酮气体传感器的加工方法，其特征在于，将所述气敏材料油墨通过点胶的方式施加于预制备的mems微加热板上并干燥，具体包括：

5.根据权利要求1所述的丙酮气体传感器的加工方法，其特征在于，所述mems微加热板的预制备过程为：

6.根据权利要求5所述的丙酮气体传感器的加工方法，其特征在于，在所述硅衬...

【专利技术属性】
技术研发人员：王君兆，刘久铭，
申请(专利权)人：深圳市时代传感技术有限公司，
类型：发明
国别省市：