【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于半导体光电探测器，尤其涉及一种镓酸锌薄膜及其制备方法。
技术介绍
1、紫外探测器被广泛的应用于天文学、燃烧工程、水净化处理、火焰探测、生物效应、天际通信以及环境污染监测等领域。由于大气中臭氧层的吸收，使得地球表面几乎没有小于280nm的紫外光，这一光谱区域称为日盲波段，由于没有太阳光的干扰，使得工作在该波段的日盲紫外探测器具有高的灵敏度，可用于导弹预警等方面。因此日盲紫外探测器受到了人们广泛的关注。目前在军事和实际生活上应用的探测器主要以硅基紫外光电管和光电倍增管为主，但是二者体积笨重，功耗比较大，而且还需要自带滤光片，这些缺点在很大程度上限制了它们应用的推广。
2、镓酸锌材料是zno和ga2o3的复合氧化物，其中最常见的晶体结构是znga2o4，其具有尖晶石结构，属于直接带隙半导体，禁带宽度在4.4ev-5.0ev之间，在原理上可以应用于248nm-280nm范围内的紫外光电器件等领域。肖特基型器件可以避免持续光电导带来了响应速度变慢的问题，同时可以不使用外部电源工作。平面型肖特基器件容易导致电场分布不均匀，...
【技术保护点】
1.一种镓酸锌薄膜，其特征在于：所述镓酸锌薄膜从下自上依次包括衬底，生长在衬底上的底部金属铂层，生长在所述底部金属铂层上的镓酸锌层。
2.根据权利要求1所述的镓酸锌薄膜，其特征在于：所述衬底为c-Al2O3。
3.根据权利要求1所述的镓酸锌薄膜，其特征在于：所述底部金属铂层的择优生长晶向为[111]。
4.根据权利要求1所述的镓酸锌薄膜，其特征在于：所述镓酸锌层的择优生长晶向为[111]。
5.根据权利要求1所述的镓酸锌薄膜，其特征在于：所述底部金属铂层的厚度范围为10nm~200nm。
6.根据权利要求1所...
【技术特征摘要】
1.一种镓酸锌薄膜，其特征在于：所述镓酸锌薄膜从下自上依次包括衬底，生长在衬底上的底部金属铂层，生长在所述底部金属铂层上的镓酸锌层。
2.根据权利要求1所述的镓酸锌薄膜，其特征在于：所述衬底为c-al2o3。
3.根据权利要求1所述的镓酸锌薄膜，其特征在于：所述底部金属铂层的择优生长晶向为[111]。
4.根据权利要求1所述的镓酸锌薄膜，其特征在于：所述镓酸锌层的择优生长晶向为[111]。
5.根据权利要求1所述的镓酸锌薄膜，其特征在于：所述底部金属铂层的厚度范围为10nm~200nm。
6.根据权利要求1所述的镓酸锌薄膜，其特征在于：所述镓酸锌层的厚度范围为50nm~1000nm。
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【专利技术属性】
技术研发人员：陈星，刘可为，申德振，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：
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