对准光路调整装置及系统制造方法及图纸

本技术提供一种对准光路调整装置及系统，涉及光刻技术领域。该对准光路调整装置包括基座和光束质量分析仪，光束质量分析仪连接于基座且能够相对基座沿Z向移动，其中，基座用于连接光学模块的外壳，光束质量分析仪的显示屏与光学模块的出射孔相对应，用于接收经出射孔射出的出射光。该对准光路调整装置结构简单、成本低，操作便捷、调整精确度高，能够有效确保光学模块中进光光纤的入射光的准直程度满足要求，减少发散角光束的光斑变化干扰，相应提高光学模块及对准系统的对准精确度，进而提高光刻机的光刻产品良率。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及光刻，尤其涉及一种对准光路调整装置及系统。

技术介绍

1、对准技术作为光刻机的关键技术之一，其性能指标直接影响光刻机的整机性能；为了提高掩模与光刻对象的对准精度，同时避免干扰物镜的设计自由度，基于位相衍射光栅的离轴对准技术逐渐应用于光刻机的对准系统中，该对准系统一般采用红、绿双色光源入射光学模块，入射光经过光学模块中光学元件的作用后到达末端的对准物镜，经过对准物镜的汇聚重合后射出到达光刻对象的对准标记，对准标记产生反射式衍射光束，随后红光和绿光的不同级次衍射光被分离、成像于相应的光电探测器，从而实现对光刻对象的相对位置计算。

2、然而现有对准系统的对准精确度较差，影响光刻机的光刻产品良率。

技术实现思路

1、本技术的目的在于提供一种对准光路调整装置及系统，以解决现有对准系统的对准精确度较差，影响光刻机的光刻产品良率的技术问题。

2、为解决上述问题，本技术提供一种对准光路调整装置，用于调整光学模块的对准光路，所述对准光路调整装置包括基座和光束质量分析仪，所述光束质量分析仪连接于本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种对准光路调整装置，用于调整光学模块(10)的对准光路，其特征在于，所述对准光路调整装置包括基座(100)和光束质量分析仪(200)，所述光束质量分析仪(200)连接于所述基座(100)且能够相对所述基座(100)沿Z向移动，其中，所述基座(100)用于连接光学模块(10)的外壳(11)，所述光束质量分析仪(200)的显示屏(210)与光学模块(10)的出射孔(11a)相对应，用于接收经所述出射孔(11a)射出的出射光。

2.根据权利要求1所述的对准光路调整装置，其特征在于，所述对准光路调整装置还包括变焦准直调整组件(300)，所述变焦准直调整组件(300)包括转动套(...

【技术特征摘要】

1.一种对准光路调整装置，用于调整光学模块(10)的对准光路，其特征在于，所述对准光路调整装置包括基座(100)和光束质量分析仪(200)，所述光束质量分析仪(200)连接于所述基座(100)且能够相对所述基座(100)沿z向移动，其中，所述基座(100)用于连接光学模块(10)的外壳(11)，所述光束质量分析仪(200)的显示屏(210)与光学模块(10)的出射孔(11a)相对应，用于接收经所述出射孔(11a)射出的出射光。

2.根据权利要求1所述的对准光路调整装置，其特征在于，所述对准光路调整装置还包括变焦准直调整组件(300)，所述变焦准直调整组件(300)包括转动套(320)，所述转动套(320)用于套设于光学模块(10)中进光光纤输出端的旋转器；

3.根据权利要求1所述的对准光路调整装置，其特征在于，所述基座(100)设有位移调整组件(400)，所述位移调整组件(400)用于连接光学模块(10)的进光光纤接头并对其进行x-y向位移调整。

4.根据权利要求3所述的对准光路调整装置，其特征在于，所述基座(100)设有第一通孔，所述位移调整组件(400)包括固接于所述基座(100)的位移调整台(410)，所述位移调整台(410)设有与所述第一通孔相对应的第二通孔(411)，所述第二通孔(411)的孔壁设有相对的两组x向螺纹孔(412)和相对的两组y向螺纹孔(413)，所述x向螺纹孔(412)旋接有x向调整螺杆(420)，所述y向螺纹孔(413)旋接有y向调整螺杆；

5.根据权利要求4所述的对准光路调整装置，其特征在于，所述位移调整台(410)连接有角度调整组件(500)，所述角度调整组件(500)用于连...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘立，熊自勤，
申请(专利权)人：北京华卓精科科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：