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本技术提供一种对准光路调整装置及系统，涉及光刻技术领域。该对准光路调整装置包括基座和光束质量分析仪，光束质量分析仪连接于基座且能够相对基座沿Z向移动，其中，基座用于连接光学模块的外壳，光束质量分析仪的显示屏与光学模块的出射孔相对应，用于接收...
该专利属于北京华卓精科科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京华卓精科科技股份有限公司授权不得商用。

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