【技术实现步骤摘要】
本技术涉及磁控溅射镀膜领域，特别是涉及一种轨道杆除尘装置。
技术介绍
1、立式反应磁控溅射镀膜生产线所采用的移动承载玻璃基片架在镀膜过程中每个部位都会不同程度的溅射或绕射上一层金属氧化物，当金属氧化物层达到一定厚度后极易脱落造成镀膜不良品，同时金属氧化物层的附着更容易导致在溅射过程中产生放气现象从而改变溅射镀膜气氛。
2、在立式反应磁控溅射镀膜生产过程中每个移动承载玻璃基片架都要反复循环在真空区、磁控溅射镀膜区和大气区，由于移动基片架轨道杆经过反复循环位移和温差变化以及与u型轨道轮摩擦使金属氧化物层脱落并附着在轨道杆上带入镀膜室，因此，它不仅会产生放气而影响溅射镀膜，金属氧化物粉尘还容易在真空状态下污染准镀玻璃基片而导致镀膜不良品的产生。
技术实现思路
1、本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种轨道杆除尘装置。
2、本技术通过以下技术方案来实现上述目的：
3、一种轨道杆除尘装置，包括用于对轨道杆表面进行清理的除尘毛刷和用于封闭粉尘避免扬尘的粉尘封闭罩，所述轨道杆贯穿连接所述粉尘封闭罩，所述粉尘封闭罩底部设置有收集漏斗，所述收集漏斗下端通过管道连接一侧抽尘风机的进气端，所述抽尘风机的出气端通过管道连接到所述粉尘收纳箱的底部，所述粉尘收纳箱上端安装有雾化喷头；
4、所述粉尘封闭罩上前后端与所述轨道杆之间设置有侧面封闭硅胶垫，所述粉尘封闭罩上端设置有开口，开口处与所述轨道杆之间安装有上端封闭硅胶垫，所述粉尘封闭罩上位于所述轨道杆两侧均
5、优选的：所述粉尘封闭罩的上端开口与所述轨道杆之间设置有进气缝，所述上端封闭硅胶垫通过螺钉连接所述粉尘封闭罩。
6、如此设置，所述上端封闭硅胶垫和所述侧面封闭硅胶垫用于放置当粉尘被扫下后泄漏出去，且当存在进气缝时，所述抽尘风机一端提供的负压将所述粉尘封闭罩内部的粉尘抽离，使所述粉尘封闭罩内部形成负压，此时则外部空气能够通过所述进气缝进入到所述粉尘封闭罩内部，避免粉尘泄漏的同时为所述粉尘封闭罩提供间隙，避免所述粉尘封闭罩与所述轨道杆发生碰撞。
7、优选的：所述粉尘封闭罩底部截面为锥状结构，所述毛刷驱动电机通过螺栓连接所述粉尘封闭罩的锥面上，所述除尘毛刷键连接所述毛刷驱动电机，所述毛刷驱动电机安装倾斜角度为45度。
8、如此设置，两个所述除尘毛刷对称设置，从而对所述轨道杆进行清理，配合旋转的轨道杆，保证对所述轨道杆清理的效果。
9、优选的：所述收集漏斗通过法兰连接所述粉尘封闭罩和所述管道。
10、如此设置，利用法兰连接保证了密封性，同时方便后期的维护。
11、优选的：所述管道通过法兰连接所述粉尘收纳箱，且所述管道安装在所述粉尘收纳箱的切线方向。
12、如此设置，所述管道将带有压力的粉尘喷进所述粉尘收纳箱内部，且由于所述管道与所述粉尘收纳箱切线方向连接，则粉尘在风力的带动下在所述粉尘收纳箱内部形成漩涡，配合所述雾化喷头在顶部喷出雾状水雾，从而对粉尘进行吸附沉淀，保证粉尘和水雾的结合效果，从而更好的将粉尘沉淀处理。
13、优选的：所述粉尘收纳箱底部侧面安装有排污口，所述管道的出口位置高于所述排污口的高度。
14、与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
15、1、利用对向倾斜设置的除尘毛刷配合抽尘风机提供的负压，能够有效的将轨道杆表面进行清理，同时配合上端封闭硅胶垫、侧面封闭硅胶垫、进气缝避免粉尘泄漏，保证环境的清洁度；
16、2、由于所述管道与所述粉尘收纳箱切线方向连接，则粉尘在风力的带动下在所述粉尘收纳箱内部形成漩涡，配合所述雾化喷头在顶部喷出雾状水雾，从而对粉尘进行吸附沉淀，保证粉尘和水雾的结合效果，从而更好的将粉尘沉淀处理。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种轨道杆除尘装置，其特征在于：包括用于对轨道杆表面进行清理的除尘毛刷(44)和用于封闭粉尘避免扬尘的粉尘封闭罩(4)，所述轨道杆贯穿连接所述粉尘封闭罩(4)，所述粉尘封闭罩(4)底部设置有收集漏斗(45)，所述收集漏斗(45)下端通过管道(7)连接一侧抽尘风机(5)的进气端，所述抽尘风机(5)的出气端通过管道(7)连接到粉尘收纳箱(6)的底部，所述粉尘收纳箱(6)上端安装有雾化喷头(61)；
2.根据权利要求1所述的一种轨道杆除尘装置，其特征在于：所述粉尘封闭罩(4)的上端开口与所述轨道杆之间设置有进气缝(46)，所述上端封闭硅胶垫(41)通过螺钉连接所述粉尘封闭罩(4)。
3.根据权利要求1所述的一种轨道杆除尘装置，其特征在于：所述粉尘封闭罩(4)底部截面为锥状结构，所述毛刷驱动电机(43)通过螺栓连接所述粉尘封闭罩(4)的锥面上，所述除尘毛刷(44)键连接所述毛刷驱动电机(43)，所述毛刷驱动电机(43)安装倾斜角度为45度。
4.根据权利要求1所述的一种轨道杆除尘装置，其特征在于：所述收集漏斗(45)通过法兰连接所述粉尘封闭罩(4)
5.根据权利要求1所述的一种轨道杆除尘装置，其特征在于：所述管道(7)通过法兰连接所述粉尘收纳箱(6)，且所述管道(7)安装在所述粉尘收纳箱(6)的切线方向。
6.根据权利要求5所述的一种轨道杆除尘装置，其特征在于：所述粉尘收纳箱(6)底部侧面安装有排污口，所述管道(7)的出口位置高于所述排污口的高度。
...【技术特征摘要】
1.一种轨道杆除尘装置，其特征在于：包括用于对轨道杆表面进行清理的除尘毛刷(44)和用于封闭粉尘避免扬尘的粉尘封闭罩(4)，所述轨道杆贯穿连接所述粉尘封闭罩(4)，所述粉尘封闭罩(4)底部设置有收集漏斗(45)，所述收集漏斗(45)下端通过管道(7)连接一侧抽尘风机(5)的进气端，所述抽尘风机(5)的出气端通过管道(7)连接到粉尘收纳箱(6)的底部，所述粉尘收纳箱(6)上端安装有雾化喷头(61)；
2.根据权利要求1所述的一种轨道杆除尘装置，其特征在于：所述粉尘封闭罩(4)的上端开口与所述轨道杆之间设置有进气缝(46)，所述上端封闭硅胶垫(41)通过螺钉连接所述粉尘封闭罩(4)。
3.根据权利要求1所述的一种轨道杆除尘装置，其特征在于：所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：王涛涛，
申请(专利权)人：河南卓金光电科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。