【技术实现步骤摘要】
本技术涉及磁控溅射镀膜领域，特别是涉及一种轨道杆除尘装置。
技术介绍
1、立式反应磁控溅射镀膜生产线所采用的移动承载玻璃基片架在镀膜过程中每个部位都会不同程度的溅射或绕射上一层金属氧化物，当金属氧化物层达到一定厚度后极易脱落造成镀膜不良品，同时金属氧化物层的附着更容易导致在溅射过程中产生放气现象从而改变溅射镀膜气氛。
2、在立式反应磁控溅射镀膜生产过程中每个移动承载玻璃基片架都要反复循环在真空区、磁控溅射镀膜区和大气区，由于移动基片架轨道杆经过反复循环位移和温差变化以及与u型轨道轮摩擦使金属氧化物层脱落并附着在轨道杆上带入镀膜室，因此，它不仅会产生放气而影响溅射镀膜，金属氧化物粉尘还容易在真空状态下污染准镀玻璃基片而导致镀膜不良品的产生。
技术实现思路
1、本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种轨道杆除尘装置。
2、本技术通过以下技术方案来实现上述目的：
3、一种轨道杆除尘装置，包括用于对轨道杆表面进行清理的除尘毛刷和用于封闭粉尘避免扬尘的粉尘封闭...
【技术保护点】
1.一种轨道杆除尘装置，其特征在于：包括用于对轨道杆表面进行清理的除尘毛刷(44)和用于封闭粉尘避免扬尘的粉尘封闭罩(4)，所述轨道杆贯穿连接所述粉尘封闭罩(4)，所述粉尘封闭罩(4)底部设置有收集漏斗(45)，所述收集漏斗(45)下端通过管道(7)连接一侧抽尘风机(5)的进气端，所述抽尘风机(5)的出气端通过管道(7)连接到粉尘收纳箱(6)的底部，所述粉尘收纳箱(6)上端安装有雾化喷头(61)；
2.根据权利要求1所述的一种轨道杆除尘装置，其特征在于：所述粉尘封闭罩(4)的上端开口与所述轨道杆之间设置有进气缝(46)，所述上端封闭硅胶垫(41)通过螺钉连...
【技术特征摘要】
1.一种轨道杆除尘装置，其特征在于：包括用于对轨道杆表面进行清理的除尘毛刷(44)和用于封闭粉尘避免扬尘的粉尘封闭罩(4)，所述轨道杆贯穿连接所述粉尘封闭罩(4)，所述粉尘封闭罩(4)底部设置有收集漏斗(45)，所述收集漏斗(45)下端通过管道(7)连接一侧抽尘风机(5)的进气端，所述抽尘风机(5)的出气端通过管道(7)连接到粉尘收纳箱(6)的底部，所述粉尘收纳箱(6)上端安装有雾化喷头(61)；
2.根据权利要求1所述的一种轨道杆除尘装置，其特征在于：所述粉尘封闭罩(4)的上端开口与所述轨道杆之间设置有进气缝(46)，所述上端封闭硅胶垫(41)通过螺钉连接所述粉尘封闭罩(4)。
3.根据权利要求1所述的一种轨道杆除尘装置，其特征在于：所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：王涛涛，
申请(专利权)人：河南卓金光电科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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