【技术实现步骤摘要】
本技术涉及磁控溅射镀膜领域，特别是涉及一种立式磁控溅射镀膜悬浮式阴极上端头。
技术介绍
1、在立式磁控溅射镀膜生产过程中，随着阴极端头表面被绕射金属氧化物的不断增加，其绝缘性能也在不断减弱，由此导致的阴极端头尤其是阴极上端头放电打火现象时有发生，严重影响磁控溅射源等离子体辉光的稳定性，最终会导致镀膜产品出现色差、斑点等质量缺陷。
2、目前，据悉国内拥有立式磁控溅射镀膜生产线的企业大部分都在加强阴极端头的绝缘等级提升或定期表面处理等措施，其效果并不理想。
技术实现思路
1、本技术的目的就在于为了解决上述问题而提供一种立式磁控溅射镀膜悬浮式阴极上端头。
2、本技术通过以下技术方案来实现上述目的：
3、一种立式磁控溅射镀膜悬浮式阴极上端头，包括阴极上端头底座，所述阴极上端头底座下端面环形设置有若干个上端头陶瓷轴承内轴，所述上端头陶瓷轴承内轴上安装有上端头陶瓷轴承，所述阴极上端头底座下侧对应设置磁控溅射源阴极靶，所述磁控溅射源阴极靶上端设置有阴极靶上端口密封盖板，所述磁控溅射源阴极靶下端设置有下端头阴极靶座，所述下端头阴极靶座底部设置有阴极下端头，所述磁控溅射源阴极靶与所述阴极靶上端口密封盖板、所述下端头阴极靶座与所述阴极下端头之间均通过双半圆卡扣进行锁紧，所述阴极靶上端口密封盖板上端轴心位置安装有盖板陶瓷轴承内轴，所述盖板陶瓷轴承内轴上设置有盖板陶瓷轴承，所述盖板陶瓷轴承设置在环形设置的所述上端头陶瓷轴承内侧，且所述盖板陶瓷轴承内轴和所述上端头陶瓷轴承
4、所述阴极上端头底座截面呈l型结构，且所述阴极上端头底座的侧板上设置有上端头安装定位孔，所述阴极上端头底座的外侧面位于所述上端头安装定位孔上侧设置有上端头安装定位栓。
5、优选的：所述上端头陶瓷轴承内轴和所述上端头陶瓷轴承设置有8个。
6、如此设置，利用圆周排布的所述上端头陶瓷轴承配合所述盖板陶瓷轴承，提高稳定性。
7、优选的：所述阴极靶上端口密封盖板和所述磁控溅射源阴极靶之间设置有阴极靶上端口盖板密封胶圈。
8、如此设置，所述阴极靶上端口盖板密封胶圈用于提高所述阴极靶上端口密封盖板和所述磁控溅射源阴极靶的配合稳定性以及减震效果。
9、优选的：所述盖板陶瓷轴承与所述上端头陶瓷轴承之间的上间隙为10mm，周围间隙为5mm。
10、优选的：所述上端头安装定位栓设置有2个。
11、如此设置，利用双上端头安装定位栓提高定位的准确性和稳定性。
12、优选的：所述上端头陶瓷轴承内轴固接所述阴极上端头底座，所述上端头陶瓷轴承的内圈和所述上端头陶瓷轴承内轴过盈配合。
13、与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
14、磁控溅射阴极系统通过悬浮式阴极上端头使阴极溅射源绝缘等级得到很大提高，有效避免了磁控溅射阴极上下端头同心度出现偏差时导致的旋转电机温度升高、阴极靶上端头易渗水漏气等问题，彻底解决了传统阴极上端头出现上述问题时易放电打火而影响镀膜产品质量的技术难题。
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1.一种立式磁控溅射镀膜悬浮式阴极上端头，其特征在于：包括阴极上端头底座(1)，所述阴极上端头底座(1)下端面环形设置有若干个上端头陶瓷轴承内轴(2)，所述上端头陶瓷轴承内轴(2)上安装有上端头陶瓷轴承(3)，所述阴极上端头底座(1)下侧对应设置磁控溅射源阴极靶(10)，所述磁控溅射源阴极靶(10)上端设置有阴极靶上端口密封盖板(12)，所述磁控溅射源阴极靶(10)下端设置有下端头阴极靶座(11)，所述下端头阴极靶座(11)底部设置有阴极下端头(9)，所述磁控溅射源阴极靶(10)与所述阴极靶上端口密封盖板(12)、所述下端头阴极靶座(11)与所述阴极下端头(9)之间均通过双半圆卡扣(8)进行锁紧，所述阴极靶上端口密封盖板(12)上端轴心位置安装有盖板陶瓷轴承内轴(5)，所述盖板陶瓷轴承内轴(5)上设置有盖板陶瓷轴承(6)，所述盖板陶瓷轴承(6)设置在环形设置的所述上端头陶瓷轴承(3)内侧，且所述盖板陶瓷轴承内轴(5)和所述上端头陶瓷轴承(3)之间设置有缝隙；
2.根据权利要求1所述的一种立式磁控溅射镀膜悬浮式阴极上端头，其特征在于：所述上端头陶瓷轴承内轴(2)和所述上
3.根据权利要求1所述的一种立式磁控溅射镀膜悬浮式阴极上端头，其特征在于：所述阴极靶上端口密封盖板(12)和所述磁控溅射源阴极靶(10)之间设置有阴极靶上端口盖板密封胶圈(13)。
4.根据权利要求1所述的一种立式磁控溅射镀膜悬浮式阴极上端头，其特征在于：所述盖板陶瓷轴承(6)与所述上端头陶瓷轴承(3)之间的上间隙为10mm，周围间隙为5mm。
5.根据权利要求1所述的一种立式磁控溅射镀膜悬浮式阴极上端头，其特征在于：所述上端头安装定位栓(7)设置有2个。
6.根据权利要求2所述的一种立式磁控溅射镀膜悬浮式阴极上端头，其特征在于：所述上端头陶瓷轴承内轴(2)固接所述阴极上端头底座(1)，所述上端头陶瓷轴承(3)的内圈和所述上端头陶瓷轴承内轴(2)过盈配合。
...【技术特征摘要】
1.一种立式磁控溅射镀膜悬浮式阴极上端头，其特征在于：包括阴极上端头底座(1)，所述阴极上端头底座(1)下端面环形设置有若干个上端头陶瓷轴承内轴(2)，所述上端头陶瓷轴承内轴(2)上安装有上端头陶瓷轴承(3)，所述阴极上端头底座(1)下侧对应设置磁控溅射源阴极靶(10)，所述磁控溅射源阴极靶(10)上端设置有阴极靶上端口密封盖板(12)，所述磁控溅射源阴极靶(10)下端设置有下端头阴极靶座(11)，所述下端头阴极靶座(11)底部设置有阴极下端头(9)，所述磁控溅射源阴极靶(10)与所述阴极靶上端口密封盖板(12)、所述下端头阴极靶座(11)与所述阴极下端头(9)之间均通过双半圆卡扣(8)进行锁紧，所述阴极靶上端口密封盖板(12)上端轴心位置安装有盖板陶瓷轴承内轴(5)，所述盖板陶瓷轴承内轴(5)上设置有盖板陶瓷轴承(6)，所述盖板陶瓷轴承(6)设置在环形设置的所述上端头陶瓷轴承(3)内侧，且所述盖板陶瓷轴承内轴(5)和所述上端头陶瓷轴承(3)之间设置有缝隙；...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨飞，
申请(专利权)人：河南卓金光电科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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