光罩盒的承载盒及其固定件制造技术

本发明专利技术一种光罩盒的承载盒及其固定件，该光罩盒的承载盒是由上盖体与下盖体大致对应以形成一容置空间，下盖体具有数对导轨设于下盖体两相对的内表面侧面上，隔板由导轨嵌入于下盖体内，将容置空间分割成多个容置空间用以存放光罩盒，固定件设置于上盖体内表面的顶面，其具有一夹持部与一抵压部。当上盖体盖合于下盖体时，上盖体的每一个固定件皆可对应存放于承载盒中的每一个光罩盒，固定件的夹持部可夹持光罩盒，固定件的抵压部可顶持光罩盒，以避免承载盒于运送光罩盒途中所产生的震动，影响存放于光罩盒中的光罩而导致光罩的摩擦或损坏，因此具有较佳的防震与保护效果。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种光罩盒的承载盒，特别是关于一种于光罩盒的承载盒 中配置多个固定件，用以固定承载盒中的光罩盒。
技术介绍
近代半导体科技发展迅速，其中光刻技术(Optical Lithogmphy)扮 演重要的角色，只要是关于图形(pattern)定义，皆需依赖光刻技术。光 刻技术在半导体的应用上，是将设计好的线路制作成具有特定形状可透光 的光罩(photo mask)。利用曝光原理，则光源通过光罩投影至硅片(silicon wafer)可曝光显示特定图案。由于任何附着于光罩上的尘埃颗粒(如微粒、 粉尘或有机物)都会造成投影成像的质量劣化，用于产生图形的光罩必须 保持绝对洁净，因此在一般的硅片工艺中，都提供无尘室(clean room)的 环境以避免空气中的颗粒污染。然而，目前的无尘室也无法达到绝对无尘 状态。现代的半导体工艺皆利用抗污染的光罩盒(reticle pod)进行光罩的保存与运输，以使光罩保持洁净。而目前最为普遍的运送光罩方式，通常是先将单一个光罩存放于单一 个光罩盒当中，再将多个光罩盒一同放置于一个光罩盒的运输盒，并于光 罩盒的运输的盒内充填软性物质(如泡棉、海棉等)，减少光罩盒的运输盒 的盒内间隙，并通过加强并固定各个光罩盒，避免光罩盒的运输盒于运送 光罩盒途中所产生的震动，影响存放于光罩盒中的光罩而导致光罩的摩擦 或损坏。然而，就光罩供货商而言，出货时除了需将光罩盒固定安置于光 罩盒的运输盒内以外，还必须以人工方式将软性物质充填于光罩盒的运输 盒，并确保盒内不会有过多个间隙；就光罩需求方而言，欲取出光罩盒时， 也必须先以人工方式将充填于光罩盒的运输盒盒内的软性物质取出，才得 以取出光罩盒，并且还需针对这些用来充填用的软性物质加以处里，因此。 供需双方除了都需耗费时间与人力成本进行软性物质的包装与拆卸以外，若将这些使用过的软性物质直接丢弃而不重复使用，这些无法自行分解的 软性物质又将对环境造成污染。
技术实现思路
为了解决上述问题，本专利技术的主要目的在于提供一种将多个固定件配 置于光罩盒的承载盒中，用以固定承载盒中的光罩盒，以使承载盒中的光 罩盒具有较佳的防震与保护效果。本专利技术的另一主要目的在于提供一种光罩盒的承载盒，其固定件具有 较佳的防止光罩摩擦或损坏，并减少尘粒的产生。本专利技术的又一主要目的在于提供一种固定件，其具有较佳的弹性结 构，可有效释放应力。本专利技术还有一主要目的在于提供一种固定件，其具有较为简单的装设 方式，可易于单一固定件的拆换更替。本专利技术的再一主要目的在于提供一种光罩盒的承载盒，另具有一气密 垫圈可提供较佳的气密效果。本专利技术的再一目的在于提供一种光罩盒的承载盒，另具有一止滑垫可 避免光罩盒的滑动，而造成光罩的震动。依据上述目的，本专利技术提供一种配置于光罩盒的承载盒中的固定件。 此光罩盒的承载盒包含一上盖体、 一下盖体、多片隔板以及多个固定件， 上盖体与下盖体大致对应以形成一容置空间，下盖体具有数对导轨设于下 盖体两相对的内表面侧面上，隔板是由导轨嵌入于下盖体内，将容置空间 分割成多个容置空间用以存放数个光罩盒，固定件则设置于上盖体内表面 的顶面，此固定件具有一顶部，此顶部两侧各配置有向外侧倾斜延伸的一 对翼部，此对翼部于一适当转折部弯曲向下以使此对翼部的自由端形成夹 持部，并于此对翼部的转折部再向此对翼部的自由端内侧倾斜延伸形成一 抵压部，其中抵压部与顶部间保持一第一间距。因此，当承载盒的上盖体盖合于下盖体时，上盖体的每一个固定件皆 可对应存放于承载盒中的每一个光罩盒，固定件的夹持部可夹持光罩盒， 固定件的抵压部可顶持光罩盒，以避免承载盒于运送光罩盒途中所产生的 震动，影响存放于光罩盒中的光罩而导致光罩的摩擦或损坏，因此具有较佳的防震与保护效果，并可减少尘粒的产生。 附图说明图1是固定件的一较佳实施例示意图； 图2是固定件的另一较佳实施例示意图;图3是固定件的又一较佳实施例示意图;图4是光罩盒的承载盒的侧视图5是光罩盒的承载盒的上视图6是承载盒的侧视图7是光罩盒的承载盒的透视图。主要元件符号说明1固定件 10顶部102 圆柱顶体104锁固孔12翼部122转折部124第一圆弧凹槽14夹持部16抵压部18支撑部182第二圆弧凹槽2承载盒20上盖体22下盖体220 导轨24隔板26a扣合元件 26b扣合边部28容置光罩盒的空间 3光罩盒30铰链 32气密垫圈 34止滑垫 Al第一夹角 A2第二夹角 Cl第一间距 C2第二间距C3夹持部与夹持部间的距离 C4盒体宽度具体实施例方式由于本专利技术揭露一种光罩盒的承载盒，特别是一种于光罩盒的承载盒 中配置多个固定件，并通过这些固定件来固定承载盒中的光罩盒。由于， 本专利技术所利用到的一些光罩或光罩盒的详细制造或处理过程，是利用现有 技术来达成，故在下述说明中，并不作完整描述。而且文中的图式，亦并 未依据实际的相关尺寸完整绘制，其作用仅在表达与本专利技术特征有关的示 意图。图1是根据本专利技术固定件的一较佳实施例示意图，此固定件1具有一 顶部10，并配置一锁固孔104于顶部10的顶面上，以供一锁固件(未示于 图中)固定此固定件1，顶部IO两侧各配置有向外侧倾斜延伸的一对翼部 12，这对翼部12于一适当转折部122弯曲向下以使这对翼部12的自由端 各形成一夹持部14，并且又于这对翼部12的转折部122再向这对翼部12 的自由端内侧分枝并倾斜延伸以形成一抵压部16，其中抵压部16与顶部 10间保持一第一间距Cl，可于顶部10受到施压时形成一缓冲空间。承上所述，抵压部16的形状近似一 V形结构，且于整体结构中两端 的厚度较中央部位为薄，而顶部10与翼部12侧倾斜延伸所形成的一第一 夹角Al为一钝角，其角度为100度~170度，而其较佳的设计为120度~160 度；此外，翼部12于转折部122倾斜延伸所形成抵压部16的一第二夹角7A2为一锐角，其角度为10度 75度，而其较佳的设计为20度~60度；另 外，并于每一转折部122与自由端之间形成一第一圆弧凹槽124，故此固 定件l具有较佳的弹性结构，可有效释放应力。很明显地，固定件l的顶 部10、翼部12、转折部122、夹持部14与抵压部16为一体成形的结构，其是由弹性材质所制成，而所制成的材料可由以下材料中选出高分子材 料、塑料材料、聚乙烯(PE)材料或聚丙烯(PP)材料，其中聚乙烯(PE)是一 种耐磨的材质。图2是根据本专利技术固定件的另一较佳实施例示意图，此固定件1具有 一顶部10，配置一锁固孔104于顶部10的顶面上，以供一锁固件(未示于 图中)固定此固定件1，另配置一圆柱顶体102于顶部10，.此圆柱顶体102 为一中空顶体，顶部IO两侧各配置有向外侧倾斜延伸的一对翼部12，这 对翼部12于一适当转折部122弯曲向下以使这对翼部12的自由端各形成 一夹持部14，并且又于这对翼部12的转折部122再向这对翼部12的自由 端内侧分枝并倾斜延伸以形成一抵压部16，其中抵压部16与圆柱顶体102 间保持一第二间距C2，可于顶部10受到施压时形成一缓冲空间，且圆柱 顶体102的长度可为顶部10与抵压部16最低处的距离的1/4~3/4，或亦 可为顶部10与抵压部16最低处的距离的一半。承上所述，抵压部16的形状近本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种固定件，其特征在于包括一顶部，该顶部两侧各配置有向外侧倾斜延伸的一对翼部，该对翼部于一适当转折部弯曲向下以使该对翼部的自由端形成夹持部，并于该对翼部的转折部再向该对翼部的自由端内侧分枝并倾斜延伸以形成一抵压部，其中该抵压部与该顶部间保持一第一间距。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：吕保仪，
申请(专利权)人：家登精密工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]