使用HF信号加热介质的方法和设备技术

为了使用HF信号加热介质(12)、尤其是生成等离子体，生成具有定义的第一工作频率和定义的第一信号功率的HF馈送信号(18)。经由传输路径(20)将HF馈送信号(18)耦入到介质(12)中。确定沿传输路径(18)的第一HF信号反射，并且根据第一HF信号反射来改变第一工作频率，以减少时间上后续的HF信号反射。在第一测试间隔期间将第一工作频率增加定义的第一频率值，以便以限时的方式以增加了的第一工作频率将第一HF馈送信号耦入到介质(12)中。在第二测试间隔期间将第一工作频率减小定义的第二频率值，以便以限时的方式以减小了的第一工作频率将第一HF馈送信号耦入到介质(12)中。在第一测试间隔期间确定第二HF信号反射，并且在第二测试间隔期间确定第三HF信号反射。在第二测试间隔结束之后以第二工作频率生成HF馈送信号，该第二工作频率根据第一、第二和第三HF信号反射来选择。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

本专利技术涉及一种使用hf信号加热介质、尤其是生成等离子体的方法，该方法具有以下步骤：-尤其是在借助于hf发生器的情况下生成具有定义的第一工作频率和定义的第一信号功率的hf馈送信号，-经由传输路径将hf馈送信号耦入到介质中，使得介质被hf馈送信号加热，-尤其是在借助于测量和控制装置的情况下确定沿传输路径的第一hf信号反射，以及-尤其是在借助于测量和控制装置的情况下，根据第一hf信号反射来改变第一工作频率，以减少时间上后续的hf信号反射。本专利技术还涉及一种使用hf信号加热介质、尤其是生成等离子体的设备，该设备具有：-hf发生器，该hf发生器被适配成用于生成具有定义的第一工作频率和定义的第一信号功率的hf馈送信号；-传输路径，该传输路径被适配成用于将hf馈送信号耦入到介质中，使得介质能够被hf馈送信号加热；以及-测量和控制装置，该测量和控制装置被适配成用于确定沿传输路径的第一hf信号反射，并且-该测量和控制装置还被适配成用于根据第一hf信号反射来改变第一工作频率，以减少时间上后续的hf信号反射。

技术介绍

1、这种方法和相应的设备例如从us2014/0197本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种使用HF信号加热介质(12)、尤其是生成等离子体的方法，所述方法具有以下步骤：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，相应地以另外的测试间隔循环地重复(70)进行增加和减小相应的工作频率，其中在每个周期之后将所述定义的第二工作频率用作新的第一工作频率。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，以在1ms至500ms、分别包含1ms和500ms的范围内的周期时间(T)循环地增加和减小相应的工作频率。

4.根据权利要求1至3之一所述的方法，其特征在于，所述第一测试间隔的间隔长度在50μs至500μs、分别包含50μs和500μs的范围内。...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

1.一种使用hf信号加热介质(12)、尤其是生成等离子体的方法，所述方法具有以下步骤：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，相应地以另外的测试间隔循环地重复(70)进行增加和减小相应的工作频率，其中在每个周期之后将所述定义的第二工作频率用作新的第一工作频率。

3.根据权利要求1或2所述的方法，其特征在于，以在1ms至500ms、分别包含1ms和500ms的范围内的周期时间(t)循环地增加和减小相应的工作频率。

4.根据权利要求1至3之一所述的方法，其特征在于，所述第一测试间隔的间隔长度在50μs至500μs、分别包含50μs和500μs的范围内。

5.根据权利要求1至4之一所述的方法，其特征在于，在所述第一测试间隔开始时，将所述定义的第一工作频率跳跃式地增加所述定义的第一频率值。

6.根据权利要求1至5之一所述的方法，其特征在于，所述定义的第一频率值和所述定义的第二频率值相同。

7.根据权利要求1至6之一所述的方法，其特征在于，所述定义的第一频率值在所述定义的第...

【专利技术属性】
技术研发人员：S·瓦森贝格，T·特拉伯，
申请(专利权)人：通快许廷格两合公司，
类型：发明
国别省市：