微机电激光扫描装置的二片式fθ镜片制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种微机电激光扫描装置的二片式ｆθ镜，第一镜片为双凸形镜片及第二镜片为新月形且凸面在微机电反射镜侧的镜片，其中第一镜片具有二个光学面，在主扫描方向至少有一个光学面由非球面所构成，第二镜片具有二个光学面，在主扫描方向至少有一个光学面由非球面所构成，主要将微机电反射镜反射的角度与时间非线性关系的扫描光线光点转换成距离与时间为线性的扫描光线光点，修正聚光于目标物上，且第一镜片及第二镜片均满足特定的光学条件，通过第一镜片及第二镜片的设置，可实现线性扫描效果与高分辨率扫描的目的。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种微机电激光扫描装置的二片式fθ镜片，尤其涉及一种用以修正呈简谐性运动的微机电反射镜而产生随时间成正弦关系的角度变化量，以实现激光扫瞄装置所要求的线性扫描效果的二片式fθ镜片。
技术介绍
目前激光束打印机(LBPLaser Beam Print)所用的激光扫描装置(LSULaser Scanning Unit)利用高速旋转的多面镜(polygon mirror)，以用于操控激光束的扫描动作(laser beam scanning)，如美国专利US7079171、US6377293、US6295116，或如台湾专利I198966所述。其原理如下利用半导体激光发出激光束(laser beam)，先经由准直镜(collimator)，再经由光圈(aperture)而形成平行光束，而平行光束再经过柱面镜(cylindrical lens)后，能够在副扫瞄方向(sub scanning direction)的Y轴上的宽度能沿着主扫描方向(main scanning direction)的X轴的平行方向平行聚焦而形成线状成像(line image)，再投射至高速旋转的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种微机电激光扫描装置的二片式ｆθ镜片，其适用于微机电激光扫描装置，所述微机电激光扫描装置至少包含用以发射光束的光源、用以共振左右摆动将光源发射的光束反射成为扫描光线的微机电反射镜、及用以感光的目标物；所述二片式ｆθ镜片包含从所述微机电反射镜依次设置的一双凸形的第一镜片及新月形且凸面在所述微机电反射镜侧的第二镜片，其中所述第一镜片具有第一光学面及第二光学面，所述第一光学面与所述第二光学面在主扫描方向至少有一个光学面由非球面所构成，以用于将所述微机电反射镜反射的角度与时间非线性关系的扫描光线光点转换成距离与时间为线性关系的扫描光线光点；所述第二镜片具有第三光学面及第四光学面，所述第三光学面与所述...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：施柏源，
申请(专利权)人：一品光学工业股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[]