一种地物目标光谱-成像椭偏装置及其检测方法制造方法及图纸

技术编号:42166870 阅读:18 留言:0更新日期:2024-07-27 00:14
本申请公开了一种地物目标光谱‑成像椭偏装置及其检测方法,涉及地物目标测量技术领域,该装置包括:样品台,用于放置待测样品;发射组件,用于向样品台中的待测样品发射可见光;接收组件,用于接收样品台中的待测样品反射出的可见光信号;相机组件,包括若干可见光相机,用于采集样品台中待测样品的偏振图像;计算机,分别与接收组件以及相机组件连接,用于根据可见光信号确定待测样品的第一目标参数值;根据偏振图像确定待测样品的第二目标参数值;以及,根据第一目标参数值和第二目标参数值进行相互验证,确定最终目标参数值,作为待测样品的测量结果值,本申请有效提高目标表面参数测量的准确性。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及地物目标测量,特别是涉及一种基于随机af算法的地物目标光谱-成像椭偏装置及其检测方法


技术介绍

1、近几年,传统手段在低照度条件下难以识别地物目标是目标探测领域面临的重要问题之一,利用偏振探测手段精确识别地物目标是解决此问题的一种新思路。在光学测试领域,光谱椭偏仪是表面物理参数的重要测量仪器,可以测量表面反射率、粗糙度等重要信息,可以应用于地物目标材质的检测。现有的基于宽光谱椭偏测量与仿真模拟相结合的偏振检测方法中,通常使用宽光谱椭偏仪测量样品得到相应的偏振相位delta()、方位角psi()和样品实验测量的穆勒矩阵后,建模被测样品的偏振散射过程,之后得到椭偏参数delta()、psi()和相应的斯托克斯矢量,经系统计算得到仿真实验的穆勒矩阵,仿真模拟过程中调节需要测量的物理和几何参数,得到穆勒矩阵,并与椭偏测量所得穆勒矩阵比较,使均方误差值最小,从而获得要测量样品的结构和物理参数。在仪器设计和使用方面,先测量后仿真的顺序虽然较合理,但系统本体缺少光路调节部分,整体结构较简单,导致测量精度和光束稳定性难以保证,且测得的表面物理参数值具有偶然性,本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种地物目标光谱-成像椭偏装置,其特征在于,所述地物目标光谱-成像椭偏装置包括:

2.根据权利要求1所述的地物目标光谱-成像椭偏装置,其特征在于,所述发射组件包括发射壳体,所述发射壳体包括非发射端和所述发射端;

3.根据权利要求2所述的地物目标光谱-成像椭偏装置,其特征在于,所述接收组件包括接收壳体,所述接收壳体包括非接收端和所述接收端;

4.根据权利要求3所述的地物目标光谱-成像椭偏装置,其特征在于,所述地物目标光谱-成像椭偏装置还包括光电信号转换器,所述光电信号转换器的输入端与所述可见光探测器连接,所述光电信号转换器的输出端与所述计算机连接,所...

【技术特征摘要】

1.一种地物目标光谱-成像椭偏装置,其特征在于,所述地物目标光谱-成像椭偏装置包括:

2.根据权利要求1所述的地物目标光谱-成像椭偏装置,其特征在于,所述发射组件包括发射壳体,所述发射壳体包括非发射端和所述发射端;

3.根据权利要求2所述的地物目标光谱-成像椭偏装置,其特征在于,所述接收组件包括接收壳体,所述接收壳体包括非接收端和所述接收端;

4.根据权利要求3所述的地物目标光谱-成像椭偏装置,其特征在于,所述地物目标光谱-成像椭偏装置还包括光电信号转换器,所述光电信号转换器的输入端与所述可见光探测器连接,所述光电信号转换器的输出端与所述计算机连接,所述光电信号转换器用于接收所述可见光探测器发送的可见光信号,将所述可见光信号转换为电信号,并将所述电信号发送给所述计算机。

5.根据权利要求3所述的地物目标光谱-成像椭偏装置,其特征在于,所述发射壳体上设置有第一驱动电机,所述接收壳体上设置有第二驱动电机,所述第一驱动电机分别与所述可调谐激光器和所述计算机...

【专利技术属性】
技术研发人员:战俊彤邹宏扬张肃付强李英超刘宏宇
申请(专利权)人:长春理工大学
类型:发明
国别省市:

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