一种陶瓷覆铜载板的制作方法及陶瓷覆铜载板技术

技术编号:42143322 阅读:28 留言:0更新日期:2024-07-26 23:59
本发明专利技术公开了一种陶瓷覆铜载板的制作方法及陶瓷覆铜载板,属于集成电路制作领域,包括以下步骤:步骤S1,陶瓷覆铜载板基板前处理;步骤S2,贴膜、曝光、显影、蚀刻、退膜,形成图形电路;步骤S3,后处理;步骤S4,激光扫底;步骤S5,激光二维码雕刻,形成二维码;步骤S6,切割、检验、包装。本发明专利技术在不增加二维码尺寸下,克服了读取障碍,提高了读取能力,有利于小型化。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及集成电路制作领域,特别涉及一种陶瓷覆铜载板的制作方法及陶瓷覆铜载板


技术介绍

1、陶瓷覆铜载板是高压大功率igbt模块的重要组成部件,既具有陶瓷的高导热、高电气绝缘、较高机械强度等特性,又具有无氧铜的高导电性和优良焊接性能,还能制作出各种图形,是适用于sic芯片、大功率igbt模块、半导体制冷制热器件的封装材料。

2、陶瓷覆铜载板是在陶瓷覆铜载板基板上制作图形电路,陶瓷覆铜载板基板比pcb基板板略小,厚度约0.2 mm,其中,铜厚250~600um(pcb板基板的铜厚 25~105um)。

3、现有的陶瓷覆铜载板的制作工艺路线为:①陶瓷覆铜载板基板前处理;②贴膜、曝光、显影、蚀刻、退膜,形成图形电路;③后处理;④激光二维码雕刻;⑤切割、检验、包装,形成陶瓷覆铜载板。

4、陶瓷覆铜载板客户端封装时通过银烧结工艺(约200℃持续5~10分钟)封装,使用时二维码出现读取障碍(二维码只占陶瓷覆铜载板的极小区域),为了解决该问题,现有技术采用增加二维码尺寸,但此举会导致客户端排版受限,产品不利于小型化。

...

【技术保护点】

1.一种陶瓷覆铜载板的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的陶瓷覆铜载板的制作方法,其特征在于,所述激光扫底包括:激光扫底与二维码位置关系为居中,扫底边距>二维码单矩阵宽度*2,激光扫底方向与激光二维码雕刻的方向垂直。

3.根据权利要求2所述的陶瓷覆铜载板的制作方法,其特征在于,所述激光扫底还包括:

4.根据权利要求3所述的陶瓷覆铜载板的制作方法,其特征在于,所述激光扫底还包括:

5.根据权利要求3所述的陶瓷覆铜载板的制作方法,其特征在于,所述点雕刻为0度线点雕刻、45度线点雕刻、135度线点雕刻或回形雕刻。

...

【技术特征摘要】

1.一种陶瓷覆铜载板的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:

2.根据权利要求1所述的陶瓷覆铜载板的制作方法,其特征在于,所述激光扫底包括:激光扫底与二维码位置关系为居中,扫底边距>二维码单矩阵宽度*2,激光扫底方向与激光二维码雕刻的方向垂直。

3.根据权利要求2所述的陶瓷覆铜载板的制作方法,其特征在于,所述激光扫底还包括:

4.根据权利要求3所述的陶瓷覆铜载板的制作方法,其特征在于,所述激光扫底还包括:

5.根据权利要求3所述的陶瓷覆铜载板的制作方法,其特征在于,所述点雕刻为0度线点雕刻、45度线点雕刻、135度线点雕刻或回形雕刻。

6.根据权利要求2-5任一项所述的陶瓷覆铜载板的制作方法,其特征在于,所述激光二维码雕刻包括:二维码雕刻形式为线阵雕刻;二维码线雕刻公式为二维码点间距=二维码...

【专利技术属性】
技术研发人员:朱锐杨世兵胡琳马敬伟王小伟田春陆玉龙刘珊王斑田
申请(专利权)人:四川富乐华半导体科技有限公司
类型:发明
国别省市:

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1