【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及集成电路制作领域,特别涉及一种陶瓷覆铜载板的制作方法及陶瓷覆铜载板。
技术介绍
1、陶瓷覆铜载板是高压大功率igbt模块的重要组成部件,既具有陶瓷的高导热、高电气绝缘、较高机械强度等特性,又具有无氧铜的高导电性和优良焊接性能,还能制作出各种图形,是适用于sic芯片、大功率igbt模块、半导体制冷制热器件的封装材料。
2、陶瓷覆铜载板是在陶瓷覆铜载板基板上制作图形电路,陶瓷覆铜载板基板比pcb基板板略小,厚度约0.2 mm,其中,铜厚250~600um(pcb板基板的铜厚 25~105um)。
3、现有的陶瓷覆铜载板的制作工艺路线为:①陶瓷覆铜载板基板前处理;②贴膜、曝光、显影、蚀刻、退膜,形成图形电路;③后处理;④激光二维码雕刻;⑤切割、检验、包装,形成陶瓷覆铜载板。
4、陶瓷覆铜载板客户端封装时通过银烧结工艺(约200℃持续5~10分钟)封装,使用时二维码出现读取障碍(二维码只占陶瓷覆铜载板的极小区域),为了解决该问题,现有技术采用增加二维码尺寸,但此举会导致客户端排版受限,产品不利于
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【技术保护点】
1.一种陶瓷覆铜载板的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的陶瓷覆铜载板的制作方法,其特征在于,所述激光扫底包括:激光扫底与二维码位置关系为居中,扫底边距>二维码单矩阵宽度*2,激光扫底方向与激光二维码雕刻的方向垂直。
3.根据权利要求2所述的陶瓷覆铜载板的制作方法,其特征在于,所述激光扫底还包括:
4.根据权利要求3所述的陶瓷覆铜载板的制作方法,其特征在于,所述激光扫底还包括:
5.根据权利要求3所述的陶瓷覆铜载板的制作方法,其特征在于,所述点雕刻为0度线点雕刻、45度线点雕刻、135度线点雕刻
...【技术特征摘要】
1.一种陶瓷覆铜载板的制作方法,其特征在于,包括以下步骤:
2.根据权利要求1所述的陶瓷覆铜载板的制作方法,其特征在于,所述激光扫底包括:激光扫底与二维码位置关系为居中,扫底边距>二维码单矩阵宽度*2,激光扫底方向与激光二维码雕刻的方向垂直。
3.根据权利要求2所述的陶瓷覆铜载板的制作方法,其特征在于,所述激光扫底还包括:
4.根据权利要求3所述的陶瓷覆铜载板的制作方法,其特征在于,所述激光扫底还包括:
5.根据权利要求3所述的陶瓷覆铜载板的制作方法,其特征在于,所述点雕刻为0度线点雕刻、45度线点雕刻、135度线点雕刻或回形雕刻。
6.根据权利要求2-5任一项所述的陶瓷覆铜载板的制作方法,其特征在于,所述激光二维码雕刻包括:二维码雕刻形式为线阵雕刻;二维码线雕刻公式为二维码点间距=二维码...
【专利技术属性】
技术研发人员:朱锐,杨世兵,胡琳,马敬伟,王小伟,田春,陆玉龙,刘珊,王斑田,
申请(专利权)人:四川富乐华半导体科技有限公司,
类型:发明
国别省市:
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