【技术实现步骤摘要】
本技术涉及镀膜设备，具体为一种电子束蒸发台及自动修正板机构。
技术介绍
1、蒸发镀膜机在蒸发镀膜的过程中，由于蒸发源到电子源的距离不同，易导致基板上镀膜出现不均匀的问题，现有的处理方式是在电子源与蒸发源之间增加修正板，通过修正板对蒸发源的上方进行部分遮挡，使镀在基板的膜层尽可能的均匀，蒸发镀膜机在使用过程中，如发生镀膜材料及镀膜条件的改变，则需要改变修正板的覆盖面积来适应机台的条件改变，基于此等需求，需要一种新型的电子束蒸发台及自动修正板机构。
2、现有技术在使用的过程中还存在以下缺陷：
3、1、现有技术中的修正板较为固定，不太容易调整，在面对镀膜材料和镀膜条件改变的情况下，无法自由的改变修正板的覆盖面积来适应机台的条件，因为蒸发源到电子源的距离不同从而导致无法实现均匀镀膜，对镀膜效率的影响是巨大的；
4、2、现有技术中的蒸发台经过高温过后，因为内部的密封性导致其降温效率较低，无法实现快速冷却，容易对坩埚造成损坏并且使其被杂质污染，不利于后续对坩埚的重复使用，并且需要等待坩埚的冷却会浪费工作人员大量的...
【技术保护点】
1.一种电子束蒸发台及自动修正板机构，包括蒸发台(1)，其特征在于：所述蒸发台(1)内部设置有真空腔(5)，所述真空腔(5)下端安装有底座(7)，所述底座(7)内部下端安装有冷却内壁(12)，所述冷却内壁(12)两侧安装有导热管(10)，所述底座(7)中心处安装有坩埚(8)，所述真空腔(5)上端安装有顶板(4)，所述顶板(4)中心处安装有电子源(3)，所述顶板(4)两端安装有长杆(2)，所述长杆(2)下端安装有三角支撑架(13)，所述三角支撑架(13)两侧安装有驱动电机(18)，所述驱动电机(18)中间安装有转轴(14)，所述转轴(14)上安装有修正板(6)和修正框架...
【技术特征摘要】
1.一种电子束蒸发台及自动修正板机构，包括蒸发台(1)，其特征在于：所述蒸发台(1)内部设置有真空腔(5)，所述真空腔(5)下端安装有底座(7)，所述底座(7)内部下端安装有冷却内壁(12)，所述冷却内壁(12)两侧安装有导热管(10)，所述底座(7)中心处安装有坩埚(8)，所述真空腔(5)上端安装有顶板(4)，所述顶板(4)中心处安装有电子源(3)，所述顶板(4)两端安装有长杆(2)，所述长杆(2)下端安装有三角支撑架(13)，所述三角支撑架(13)两侧安装有驱动电机(18)，所述驱动电机(18)中间安装有转轴(14)，所述转轴(14)上安装有修正板(6)和修正框架(17)，所述修正框架(17)上安装有第一滑杆(...
【专利技术属性】
技术研发人员：蒋丽丽，
申请(专利权)人：苏州美芝恩电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。