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本技术涉及镀膜设备技术领域,尤其涉及一种电子束蒸发台及自动修正板机构,其技术方案包括蒸发台,所述蒸发台内部设置有真空腔,所述真空腔下端安装有底座,所述底座内部下端安装有冷却内壁,所述冷却内壁两侧安装有导热管,所述底座中心处安装有坩埚,所述真...该专利属于苏州美芝恩电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州美芝恩电子科技有限公司授权不得商用。
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本技术涉及镀膜设备技术领域,尤其涉及一种电子束蒸发台及自动修正板机构,其技术方案包括蒸发台,所述蒸发台内部设置有真空腔,所述真空腔下端安装有底座,所述底座内部下端安装有冷却内壁,所述冷却内壁两侧安装有导热管,所述底座中心处安装有坩埚,所述真...