【技术实现步骤摘要】
本技术涉及坩埚冷却，具体为一种可蒸镀多种材料的坩埚冷却机构。
技术介绍
1、坩埚的起源可以追溯到古代文明时期，人们使用陶土或金属制成的容器来熔炼金属、制造陶器等，在经济高度繁荣的现在，坩埚的制作材料和技术非常多样化和先进化，除了传统的陶瓷、金属和玻璃材料外，还有一些新型材料如碳化硅、氮化硅等也被应用于坩埚的制作中，同时，一些新的工艺和技术也被开发出来，如真空蒸镀技术、自动化加热系统等，进一步提高了坩埚的性能和使用效果。
2、现有技术在使用的过程中还存在以下缺陷：
3、1、现有技术中的坩埚在蒸镀时，蒸镀装置利用高压电使钨丝线圈产生电子后，利用加速电极将电子引出，再通过偏向磁铁将电子束弯曲，引导电子束打到坩埚内的蒸镀材料上，使蒸镀材料局部熔融，因在高真空下蒸镀材料的熔点和沸点接近，容易蒸发，熔融产生的金属蒸气流遇到晶片时即沉积在上面，而电子束产生的热量较高，导致蒸镀材料的熔融的温度较高，容易造成坩埚过热融化，形成对蒸镀材料的污染；
4、2、现有技术中的蒸镀坩埚，随着蒸镀的进行，坩埚内的蒸镀材料会越来越少，...
【技术保护点】
1.一种可蒸镀多种材料的坩埚冷却机构，包括埚体(1)和凸缘(2)，其特征在于：所述埚体(1)的顶部设置有凸缘(2)，所述埚体(1)的内部安装有隔热板(7)，所述埚体(1)的外侧设置有固定环(8)，所述固定环(8)的底部安装有冷却机构(9)，导热筒(3)的外侧安装有导热铜管(4)，所述导热铜管(4)的另一侧安装有出水管口(5)，所述导热铜管(4)的另一侧安装有进水管口(6)，所述埚体(1)的底部安装有升降台(10)，所述升降台(10)的底部外侧安装有第一导向筒(11)，所述升降台(10)的底部靠近中间的部位安装有活塞杆(13)。
2.根据权利要求1所述的一种...
【技术特征摘要】
1.一种可蒸镀多种材料的坩埚冷却机构，包括埚体(1)和凸缘(2)，其特征在于：所述埚体(1)的顶部设置有凸缘(2)，所述埚体(1)的内部安装有隔热板(7)，所述埚体(1)的外侧设置有固定环(8)，所述固定环(8)的底部安装有冷却机构(9)，导热筒(3)的外侧安装有导热铜管(4)，所述导热铜管(4)的另一侧安装有出水管口(5)，所述导热铜管(4)的另一侧安装有进水管口(6)，所述埚体(1)的底部安装有升降台(10)，所述升降台(10)的底部外侧安装有第一导向筒(11)，所述升降台(10)的底部靠近中间的部位安装有活塞杆(13)。
2.根据权利要求1所述的一种可蒸镀多种材料的坩埚冷却机...
【专利技术属性】
技术研发人员：孙莎莎，
申请(专利权)人：苏州美芝恩电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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