【技术实现步骤摘要】
本技术属于半导体设备的，具体涉及一种蒸镀机挡板装置及蒸镀机。
技术介绍
1、蒸镀设备是采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(镀源)并使之气化，形成气态蒸汽云，蒸汽云于腔体中由下向上移动并最终沉积在产品基片上，凝聚成膜的工艺方法。产品基片通常放在腔体上方的镀锅上，并随着镀锅旋转，以达到均匀膜厚的目的。
2、蒸汽云的形貌和密度影响了沉积到产品基片上的蒸镀膜层的均匀性，由于不同膜层材料的特性不同，部分膜层材料形成的蒸汽云的形貌与密度的差异性导致了最终膜层厚度均匀性出现偏差，例如在蒸镀pt金属时，其膜层中部和边缘的厚度偏差较大，不符合高精度器件的金属膜层质量要求，限制了其应用。
技术实现思路
1、本技术针对现有技术存在的不足，提供一种蒸镀机挡板装置及蒸镀机。
2、为了实现以上目的，本技术的技术方案为：
3、一种蒸镀机挡板装置，所述蒸镀机挡板装置设于竖直蒸发路径的一侧，包括第一挡板、支撑轴、驱动单元和转动单元；转动单元设于支撑轴上，第一挡板连接转动单元，驱动单元驱动...
【技术保护点】
1.一种蒸镀机挡板装置，其特征在于：所述蒸镀机挡板装置设于竖直蒸发路径的一侧，包括第一挡板、支撑轴、驱动单元和转动单元；转动单元设于支撑轴上，第一挡板连接转动单元，驱动单元驱动转动单元带动第一挡板实现水平位置和竖直位置之间的翻转；其中所述第一挡板具有一内凹的弧形边缘，在水平位置，所述弧形边缘面向蒸发路径。
2.根据权利要求1所述的蒸镀机挡板装置，其特征在于：所述第一挡板具有一长边与一短边，所述弧形边缘连接于所述长边和短边之间。
3.根据权利要求2所述的蒸镀机挡板装置，其特征在于：所述弧形边缘与所述长边的相接处形成一尖角。
4.根据权...
【技术特征摘要】
1.一种蒸镀机挡板装置，其特征在于：所述蒸镀机挡板装置设于竖直蒸发路径的一侧，包括第一挡板、支撑轴、驱动单元和转动单元；转动单元设于支撑轴上，第一挡板连接转动单元，驱动单元驱动转动单元带动第一挡板实现水平位置和竖直位置之间的翻转；其中所述第一挡板具有一内凹的弧形边缘，在水平位置，所述弧形边缘面向蒸发路径。
2.根据权利要求1所述的蒸镀机挡板装置，其特征在于：所述第一挡板具有一长边与一短边，所述弧形边缘连接于所述长边和短边之间。
3.根据权利要求2所述的蒸镀机挡板装置，其特征在于：所述弧形边缘与所述长边的相接处形成一尖角。
4.根据权利要求1所述的蒸镀机挡板装置，其特征在于：所述转动单元包括一多边形接头，所述第一挡板与所述弧形边缘相对的一侧连接所述多边形接头的一边，并随所述多边形接头旋转而实现翻转。
5.根据权利要求1所述的蒸镀机挡板装置，其特征在于：所述驱动单元为气缸。
6.一种蒸镀机，其特征在于：...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈招银，陈明俊，臧晓刚，
申请(专利权)人：厦门市三安集成电路有限公司，
类型：新型
国别省市：
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