【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及传感器，具体涉及一种电容式传感器及测量压力方法。
技术介绍
1、压力的宽范围与高灵敏度测量是广泛工程应用的关键要求，例如机器人电子皮肤、交互式可穿戴设备、人机界面、结构健康检测、风压力监测、水下环境监测等领域。理想的传感器性能包括大应变范围、响应速度快、高线性度以及灵敏度、循环稳定性好以及鲁棒性等。基于不同的传感环境，实际应用中需要监测差异很大的压力，如呼吸、脉搏、手指弯曲等运动中，它们的压力范围在1kpa～500kpa甚至再往上；在水下环境监测应用中，深海中的静水压力的压力范围甚至可以达到0～100mpa。压力传感器通常需要在一定的工作范围内进行校准，以实现较好的线性度，适应不同的负载条件。此外，传感器封装过程中的预加载通常是不可避免的，这进一步影响了传感器的性能与线性工作范围。
2、许多基于不同信号传导模式的压力传感器，包括压阻式、电容式、压电式、和摩擦电式，针对不同环境下的应用开发，在不同的工作环境中表现优异。电容式压力传感器具有结构配置简单、性能稳定(低漂移)的优点，使其成为各类压力传感器中最受欢迎的压...
【技术保护点】
1.一种电容式传感器，其特征在于，所述电容式传感器包括腔体和固定在腔体上的传感薄膜；所述腔体和传感薄膜之间充满压缩介质，所述传感薄膜从上至下依次包括：防水薄层、介电薄膜、液态金属电极、介电薄膜和防水薄层。
2.根据权利要求1所述的电容式传感器，其特征在于，所述电容式传感器包括固定模具和固定模具端盖，所述传感薄膜通过固定在固定模具和固定模具端盖之间，所述固定模具与腔体连接。
3.根据权利要求1所述的电容式传感器，其特征在于，所述压缩介质选自空气、水或液压油。
4.根据权利要求1所述的电容式传感器，其特征在于，所述传感薄膜中：防水薄层的...
【技术特征摘要】
1.一种电容式传感器，其特征在于，所述电容式传感器包括腔体和固定在腔体上的传感薄膜；所述腔体和传感薄膜之间充满压缩介质，所述传感薄膜从上至下依次包括：防水薄层、介电薄膜、液态金属电极、介电薄膜和防水薄层。
2.根据权利要求1所述的电容式传感器，其特征在于，所述电容式传感器包括固定模具和固定模具端盖，所述传感薄膜通过固定在固定模具和固定模具端盖之间，所述固定模具与腔体连接。
3.根据权利要求1所述的电容式传感器，其特征在于，所述压缩介质选自空气、水或液压油。
4.根据权利要求1所述的电容式传感器，其特征在于，所述传感薄膜中：防水薄层的材质选自聚酰亚胺或聚氨酯，所述介电薄膜的材质选自pdms或水凝胶，所述液态金属电极的材质选自镓铟合金。
5....
【专利技术属性】
技术研发人员：李铁风，王海俊，周方浩，阮东瑞，干乐天，
申请(专利权)人：浙江大学，
类型：发明
国别省市：
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