下载一种电容式传感器及测量压力方法的技术资料

文档序号:42119190

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本发明公开了一种电容式传感器,所述电容式传感器包括腔体和固定在腔体上的传感薄膜;所述腔体和传感薄膜之间充满压缩介质,所述传感薄膜从上至下依次包括:防水薄层、介电薄膜、液态金属电极、介电薄膜和防水薄层。本发明还公开了上述电容式传感器测量压力的...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。

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