硅片生产用移动装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种硅片生产用移动装置，涉及硅片移动设备技术领域，包括承载桌体和控制装置，还包括第一动力组件、硅片花篮、支撑杆、弧形齿板、连接轴、转动块、扭转弹簧、复位螺杆、复位螺套、挡块、转动齿轮、限位板、硅片移动机构和输送机构。通过复位螺杆与复位螺套间的螺纹传动配合，使得两侧的复位螺套相互靠近，从而使得两侧复位螺套上的挡块相互靠近，从而对硅片进行限位，进而避免了硅片花篮在围绕支撑底板转动时，硅片花篮内的硅片被甩出损坏。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及硅片移动设备，尤其涉及硅片生产用移动装置。

技术介绍

1、硅片，也称为硅晶圆或晶圆，是现代半导体制造中不可或缺的基础材料。这种薄而透明的圆片由高纯度的硅制成，其制造过程涉及从自然界提取硅并经过精密的纯化和晶体生长技术。硅片的质量直接影响到最终电子产品的性能，包括计算速度、能耗和耐用度。在应用方面，硅片广泛应用于集成电路的制造，这些电路是现代电子设备如计算机、智能手机、平板电脑及各类智能穿戴设备的核心部分。除了电子行业，硅片也用于太阳能板制造，转换阳光为电能，推动可再生能源的发展。硅片的制造和使用展示了人类对自然界材料的深刻理解和创新应用的能力，是现代科技发展的重要基石。

2、硅片在生产的过程中有很多的移动的需要，如需要将硅片从硅片花篮中取出，目前将硅片从硅片花篮中取出多依赖于人工夹取，这不仅效率低下，还容易因操作不当导致硅片损伤，影响最终产品的质量与产量，虽然目前有将硅片花篮放置在旋转的转盘上，再由机械手进行夹取，这种方式虽然提高了硅片的夹取移动效率，但是花篮在旋转时，由于没有相应对硅片进行限位的机构，这就使得硅片易从花篮中甩出，本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.硅片生产用移动装置，包括承载桌体（1）和控制装置（2），所述控制装置（2）固定设置于承载桌体（1）上，其特征在于，还包括：

2.根据权利要求1所述的硅片生产用移动装置，其特征在于，所述第一动力组件包括：

3.根据权利要求2所述的硅片生产用移动装置，其特征在于，所述硅片移动机构包括：

4.根据权利要求3所述的硅片生产用移动装置，其特征在于，所述第二动力组件包括：

5.根据权利要求4所述的硅片生产用移动装置，其特征在于，所述稳固件包括：

6.根据权利要求5所述的硅片生产用移动装置，其特征在于，所述硅片吸取部包括：

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【技术特征摘要】

1.硅片生产用移动装置，包括承载桌体（1）和控制装置（2），所述控制装置（2）固定设置于承载桌体（1）上，其特征在于，还包括：

2.根据权利要求1所述的硅片生产用移动装置，其特征在于，所述第一动力组件包括：

3.根据权利要求2所述的硅片生产用移动装置，其特征在于，所述硅片移动机构包括：

4.根据权利要求3所述的硅片生产用移动装置，其特征在于，所述第二动力组件包括：

5.根据权利要求4所述的硅片生产用移动装置，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：李文红，成如诗，毛爱民，付浩然，吴峰光，
申请(专利权)人：深圳市石金科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：