【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及硅片移动设备，尤其涉及硅片生产用移动装置。
技术介绍
1、硅片，也称为硅晶圆或晶圆，是现代半导体制造中不可或缺的基础材料。这种薄而透明的圆片由高纯度的硅制成，其制造过程涉及从自然界提取硅并经过精密的纯化和晶体生长技术。硅片的质量直接影响到最终电子产品的性能，包括计算速度、能耗和耐用度。在应用方面，硅片广泛应用于集成电路的制造，这些电路是现代电子设备如计算机、智能手机、平板电脑及各类智能穿戴设备的核心部分。除了电子行业，硅片也用于太阳能板制造，转换阳光为电能，推动可再生能源的发展。硅片的制造和使用展示了人类对自然界材料的深刻理解和创新应用的能力，是现代科技发展的重要基石。
2、硅片在生产的过程中有很多的移动的需要，如需要将硅片从硅片花篮中取出，目前将硅片从硅片花篮中取出多依赖于人工夹取，这不仅效率低下，还容易因操作不当导致硅片损伤，影响最终产品的质量与产量，虽然目前有将硅片花篮放置在旋转的转盘上，再由机械手进行夹取，这种方式虽然提高了硅片的夹取移动效率，但是花篮在旋转时，由于没有相应对硅片进行限位的机构，这就使得硅片易从花篮中甩出，造成硅片损坏，因此急需改进。
技术实现思路
1、针对现有技术存在的不足，本专利技术的目的在于提供一种硅片生产用移动装置，旨在解决上述技术问题。
2、为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：
3、硅片生产用移动装置，包括承载桌体和控制装置，所述控制装置固定设置于承载桌体上，还包括：
4、第
5、支撑底板，设置于所述第一动力组件上；
6、硅片花篮，具有多组，且多组硅片花篮呈圆周均匀分布在所述支撑底板上，所述硅片花篮包括两个对称设置的花篮支板，且两个花篮支板相互远离的表面开设有放置槽，两个所述花篮支板相对侧的表面上开设有多个等间距的硅片存放槽；
7、支撑杆，具有多组，且多组支撑杆呈圆周均匀分布在所述承载桌体上；
8、弧形齿板，具有多个，且各个弧形齿板分别固定设置于各组支撑杆上，且各个弧形齿板端部之间所形成的空间为复位空间；
9、连接轴，转动设置于两个花篮支板上，且连接轴的端部伸入至所述放置槽内；
10、转动块，转动设置于所述放置槽内，与所述连接轴的端部固定连接；
11、扭转弹簧，位于所述放置槽内，且扭转弹簧的两端分别与放置槽的表面和转动块固定连接；
12、复位螺杆，固定设置于所述转动块上；
13、复位螺套，具有两个，与所述复位螺杆螺纹传动连接，且两个复位螺套内的螺纹旋向相反；
14、挡块，与所述复位螺套固定连接，且复位螺套上对称设置有两个挡块，所述复位螺套上的两个挡块分布在相邻的花篮支板上；
15、转动齿轮，固定设置于远离支撑底板中心的复位螺杆上，并与所述弧形齿板啮合；
16、限位板，固定设置于靠近支撑底板中心的复位螺杆上；
17、硅片移动机构，设置于所述承载桌体上，用于移动硅片存放槽内的硅片；
18、输送机构，设置于所述承载桌体上，并与所述硅片移动机构配合将硅片移动至下一工序。
19、优选地，所述第一动力组件包括：
20、第一电机，固定设置于所述承载桌体上，与所述控制装置电连接；
21、动力盘，固定设置于所述第一电机的输出端上；
22、凸台，固定设置于所述动力盘远离承载桌体的表面；
23、拨动杆，固定设置于所述动力盘远离承载桌体的表面；
24、第一转轴，转动设置于所述承载桌体上，且第一转轴靠近支撑底板的一端与所述支撑底板固定连接；
25、间歇转板，固定设置于所述第一转轴远离支撑底板的一端；
26、拨动槽，具有多个，且多个拨动槽均匀的开设在所述间歇转板的表面，所述拨动槽与所述拨动杆配合。
27、优选地，所述硅片移动机构包括：
28、第二动力组件，设置于所述承载桌体上，并与所述控制装置电连接；
29、稳固件，固定设置于所述承载桌体上；
30、转动盘，固定设置于所述第二动力组件的输出端上；
31、硅片吸取部，具有多个，且多个硅片吸取部均匀的分布在所述转动盘上，且所述硅片吸取部与所述控制装置电连接。
32、优选地，所述第二动力组件包括：
33、第二电机，固定设置于所述承载桌体上，并与所述控制装置电连接；
34、第二转轴，转动设置于所述承载桌体上，所述第二转轴靠近第二电机的一端与所述第二电机的输出端固定连接。
35、优选地，所述稳固件包括：
36、稳固套筒，套设于所述第二转轴上，并与所述第二转轴转动连接；
37、稳固支板，具有两个，且两个所述稳固支板对称设置于所述承载桌体上，且所述稳固支板的两端分别与承载桌体的稳固套筒固定连接。
38、优选地，所述硅片吸取部包括：
39、驱动部，设置于所述转动盘上，并与所述控制装置电连接；
40、升降部，设置于所述转动盘上，与所述驱动部配合；
41、转动辅助件，设置于所述转动盘上；
42、吸附件，设置于所述升降部上，与所述控制装置电连接，用于吸附固定硅片；
43、防蹭组件，具有两个，且两个防蹭组件对称设置于所述吸附件上，所述防蹭组件与所述控制装置电连接。
44、优选地，所述驱动部包括：
45、驱动电机，固定设置于所述转动盘上，并与所述控制装置电连接；
46、第一齿轮，固定设置于所述驱动电机的输出端上。
47、优选地，所述升降部包括：
48、滑动槽，贯穿开设于所述转动盘上；
49、卡块，位于所述滑动槽内，且所述卡块与所述转动盘固定连接；
50、第二齿轮，与所述第一齿轮啮合；
51、升降螺杆，与所述第二齿轮螺纹传动连接，且所述升降螺杆的轴线与所述第二齿轮的轴线重合；
52、卡槽，开设于所述升降螺杆上，用于通过与卡块间的配合限制升降螺杆转动；
53、第一距离传感器，设置于所述花篮支板上，与所述控制装置电连接，用于测量下方靠近吸附件的硅片与吸附件间的距离；
54、第二距离传感器，设置于所述转动盘靠近承载桌体的表面，与所述控制装置电连接，用于测量吸附件与第二距离传感器间的距离。
55、优选地，所述转动辅助件包括：
56、第一辅助槽，具有多个，且多个第一辅助槽均匀的开设在所述转动盘上；
57、挡板，固定设置于所述转动盘上，所述挡板靠近第二齿轮的表面也开设有多个均匀分布的第一辅助槽；
58、辅助球，滚动设置于所述第一辅助槽内，挡板上的辅助球和转动盘上的辅助球用于限制第二齿轮沿升降螺杆的轴线方向移动。
59、优选地，所本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.硅片生产用移动装置，包括承载桌体（1）和控制装置（2），所述控制装置（2）固定设置于承载桌体（1）上，其特征在于，还包括：
2.根据权利要求1所述的硅片生产用移动装置，其特征在于，所述第一动力组件包括：
3.根据权利要求2所述的硅片生产用移动装置，其特征在于，所述硅片移动机构包括：
4.根据权利要求3所述的硅片生产用移动装置，其特征在于，所述第二动力组件包括：
5.根据权利要求4所述的硅片生产用移动装置，其特征在于，所述稳固件包括：
6.根据权利要求5所述的硅片生产用移动装置，其特征在于，所述硅片吸取部包括：
7.根据权利要求6所述的硅片生产用移动装置，其特征在于，所述驱动部包括：
8.根据权利要求7所述的硅片生产用移动装置，其特征在于，所述升降部包括：
9.根据权利要求8所述的硅片生产用移动装置，其特征在于，所述转动辅助件包括：
10.根据权利要求9所述的硅片生产用移动装置，其特征在于，所述防蹭组件包括：
【技术特征摘要】
1.硅片生产用移动装置，包括承载桌体（1）和控制装置（2），所述控制装置（2）固定设置于承载桌体（1）上，其特征在于，还包括：
2.根据权利要求1所述的硅片生产用移动装置，其特征在于，所述第一动力组件包括：
3.根据权利要求2所述的硅片生产用移动装置，其特征在于，所述硅片移动机构包括：
4.根据权利要求3所述的硅片生产用移动装置，其特征在于，所述第二动力组件包括：
5.根据权利要求4所述的硅片生产用移动装置，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：李文红，成如诗，毛爱民，付浩然，吴峰光，
申请(专利权)人：深圳市石金科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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