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本发明公开了一种硅片生产用移动装置，涉及硅片移动设备技术领域，包括承载桌体和控制装置，还包括第一动力组件、硅片花篮、支撑杆、弧形齿板、连接轴、转动块、扭转弹簧、复位螺杆、复位螺套、挡块、转动齿轮、限位板、硅片移动机构和输送机构。通过复位螺杆...
该专利属于深圳市石金科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市石金科技股份有限公司授权不得商用。

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