【技术实现步骤摘要】
本技术涉及硅片花篮，尤其涉及一种花篮齿杆。
技术介绍
1、花篮齿杆是半导体器件生产过程中硅片清洗设备的重要组成部分，其设计和材料选择对于提高生产效率和产品质量至关重要，单晶硅棒经切片机切割成单晶硅片后，普遍需要采用花篮分装后进行清洗、检测。齿杆作为花篮上一个最为重要的部件，其由金属材质的芯杆和复合塑料材质的齿柱结构组成。
2、目前的花篮齿杆均为整体式的结构，在长时间的使用后花篮齿杆的局部会出现磨损的状况，此时就需要对花篮齿杆进行更换，但是一次更换整根花篮齿杆使得维修的成本高，而且目前的花篮齿杆固定的型号只能够适用于固定尺寸的硅片，从而使得目前花篮齿杆的适用范围窄，因此急需改进。
技术实现思路
1、针对现有技术存在的不足，本技术的目的在于提供一种花篮齿杆，旨在解决上述技术问题。
2、为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
3、一种花篮齿杆，包括齿杆本体，所述齿杆本体两端固定设置有端杆，所述端杆上开设有穿孔，所述齿杆本体上开设有平槽，所述平槽上开设有多个插槽，且多个插槽在齿杆本体上等距分布，所述插槽内开设有两组对称设置的内置槽，花篮齿杆还包括：
4、插块，滑动设置于所述插槽内，所述插块靠近内置槽的表面开设有弧形卡槽；
5、连接机构，设置于所述内置槽内，所述连接机构用于固定插入插槽内的插块；
6、支撑机构，设置于所述插块上，所述支撑机构用于支撑硅片。
7、优选地，所述连接机构包括：
8、
9、插入部，设置于所述内置槽内，所述插入部用于固定插入插槽内的插块。
10、优选地，所述插入部包括：
11、滑动柱，设置于所述内置槽内，并与所述内置槽滑动连接，所述滑动柱靠近弧形卡槽的一端与弧形卡槽的内表面相契合；
12、第一弹簧，设置于所述内置槽内，所述第一弹簧远离插块的一端与所述齿杆本体固定连接，所述第一弹簧始终处于压缩状态；
13、辅助部，设置于所述滑动柱上，所述辅助部用于防止插块拔出插槽后滑动柱脱离内置槽。
14、优选地，所述辅助部包括：
15、连接杆，设置于所述滑动柱上，且连接杆靠近滑动柱的一端与所述滑动柱固定连接，所述连接杆与所述固定罩滑动连接；
16、阻挡板，位于所述固定罩内，且阻挡板固定设置于所述连接杆远离滑动柱的一端。
17、优选地，所述支撑机构包括：
18、支撑板，位于所述插块的正上方，所述支撑板靠近插块的表面开设有矩形槽，所述矩形槽内开设有两组对称的棱形槽；
19、矩形块，固定设置于所述插块上，所述矩形块与所述矩形槽滑动连接，所述矩形块靠近棱形槽的表面开设有多个等距分布的内含槽，且内含槽间的间距与每组棱形槽中的相邻棱形槽间的间距相等；
20、卡位部，设置于所述内含槽内，所述卡位部用于固定插入矩形槽的矩形块。
21、优选地，所述卡位部包括：
22、第二弹簧，设置于所述内含槽内，且第二弹簧远离棱形槽的一端与所述矩形块固定连接；
23、滑动块，滑动设置于所述内含槽内，且滑动块靠近第二弹簧的一端与所述第二弹簧固定连接，所述滑动块靠近棱形槽的一端与所述棱形槽的内表面相契合。
24、优选地，所述插块靠近插槽的一端倒圆角设置。
25、综上所述，由于采用了上述技术方案，本技术的有益效果是：
26、1、本装置通过设置有连接机构，从而使得工作人员能够根据实际的使用需求将插块插入相应的插槽中，进而实现对设置在插块上连接机构中的支撑板间的间距进行调节，从而使得本装置能够适用于不同厚度的硅片，从而一定程度上提高了本花篮齿杆的适用范围；同时通过设置有连接机构，也便于工作人员对插块进行更换，从而便于工作人员对花篮齿杆上的磨损区域进行调换，从而一定程度上降低了花篮齿杆的维修成本。
27、2、通过设置有支撑机构，从而使得工作人员能够根据放置在支撑板上的硅片尺寸来调节支撑板与齿杆本体间的间距，进而对不同尺寸的硅片进行更好的支撑，一定程度上提高了本花篮齿杆的适用范围。
28、3、通过设置有卡位部，从而实现了对支撑板和矩形块间的连接和拆卸，同时也便于支撑板在后期磨损后对磨损的支撑板进行更换，从而一定程度上降低了花篮齿杆的维修成本。
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1.一种花篮齿杆，包括齿杆本体（1），所述齿杆本体（1）两端固定设置有端杆（2），其特征在于，所述端杆（2）上开设有穿孔（3），所述齿杆本体（1）上开设有平槽（4），所述平槽（4）上开设有多个插槽（5），且多个插槽（5）在齿杆本体（1）上等距分布，所述插槽（5）内开设有两组对称设置的内置槽（6），花篮齿杆还包括：
2.根据权利要求1所述的一种花篮齿杆，其特征在于，所述连接机构包括：
3.根据权利要求2所述的一种花篮齿杆，其特征在于，所述插入部包括：
4.根据权利要求3所述的一种花篮齿杆，其特征在于，所述辅助部包括：
5.根据权利要求4所述的一种花篮齿杆，其特征在于，所述支撑机构包括：
6.根据权利要求5所述的一种花篮齿杆，其特征在于，所述卡位部包括：
7.根据权利要求1所述的一种花篮齿杆，其特征在于，所述插块（7）靠近插槽（5）的一端倒圆角设置。
【技术特征摘要】
1.一种花篮齿杆，包括齿杆本体（1），所述齿杆本体（1）两端固定设置有端杆（2），其特征在于，所述端杆（2）上开设有穿孔（3），所述齿杆本体（1）上开设有平槽（4），所述平槽（4）上开设有多个插槽（5），且多个插槽（5）在齿杆本体（1）上等距分布，所述插槽（5）内开设有两组对称设置的内置槽（6），花篮齿杆还包括：
2.根据权利要求1所述的一种花篮齿杆，其特征在于，所述连接机构包括：
3....
【专利技术属性】
技术研发人员：成如诗，毛爱民，李文红，付浩然，吴峰光，
申请(专利权)人：深圳市石金科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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