一种蒸发舟及真空蒸发镀膜装置制造方法及图纸

本公开提供了一种蒸发舟及真空蒸发镀膜装置，蒸发舟用于真空蒸发镀膜，蒸发舟包括：蒸发舟本体，蒸发舟本体具有大致平行的第一面和第二面，第一面开设有容置槽，容置槽配置为放置靶材；其中，容置槽包括：熔化区和蒸镀区，熔化区与蒸镀区分别位于容置槽的两端且熔化区与蒸镀区连通，熔化区配置为融化靶材，蒸镀区配置为蒸发靶材。本公开的蒸发舟通过将熔化靶材和蒸镀的步骤分区进行，有效的防止了由于熔融状态的金属靶材与未融化的金属靶材之间不稳定的状态引起的飞溅；通过控制液态的靶材的流速和路径，可以使蒸镀区内的液态靶材液面稳定，不会引起蒸发舟液面波动现象。并且，还可以直接向熔化区注入液态的金属靶材，减少送丝过程。

【技术实现步骤摘要】

本公开涉及真空镀膜，具体而言，涉及一种蒸发舟及真空蒸发镀膜装置。

技术介绍

1、真空蒸发镀是物理气相沉积(pvd，physical vapor deposition)技术中最典型的一种成膜技术,是在高真空条件下利用不同的加热方法将待镀金属和某些化合物材料加热熔化并升华蒸发,使蒸发材料的原子或分子沉积在镀件表面形成镀膜的方法。其中真空蒸发镀铝有着非常广泛的应用领域,例如在食品、牛奶保鲜包装、薄膜电容器、激光镀铝防伪商标、显象管屏幕镀铝等行业都已经在广泛使用真空镀铝技术。其中盛装铝源的蒸发舟是真空镀铝设备中最重要的消耗性零部件,其蒸镀效果和使用寿命的长短直接影响真空镀铝企业的生产效率和成本。目前蒸发舟材料绝大多数都是采用bn-tib2-aln体系复合导电陶瓷,其连续使用寿命约为10-15h,间歇闪蒸次数400-800次。高温下铝液对蒸发舟表面的腐蚀是影响蒸发舟寿命的重要因素之一。

2、现有的蒸发舟在熔化靶材时，熔融状态的金属靶材与未融化的金属靶材之间不稳定，会引起飞溅；并且在加热过程中，液态靶材的液面也不稳定，也会引起飞溅，飞溅的铝滴、铜滴等对蒸发本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种蒸发舟，用于真空蒸发镀膜，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的蒸发舟，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的蒸发舟，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的蒸发舟，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的蒸发舟，其特征在于，

6.根据权利要求1所述的蒸发舟，其特征在于，还包括：

7.根据权利要求6所述的蒸发舟，其特征在于，

8.根据权利要求2所述的蒸发舟，其特征在于，

9.根据权利要求1-8任一项所述的蒸发舟，其特征在于，

10.一种真空蒸发镀膜装置，其特征在于，包括：...

【技术特征摘要】

1.一种蒸发舟，用于真空蒸发镀膜，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的蒸发舟，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的蒸发舟，其特征在于，

4.根据权利要求3所述的蒸发舟，其特征在于，

5.根据权利要求1所述的蒸发舟，其特征在于，

6.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：张建斌，孙欣森，杨怀超，侯建洋，
申请(专利权)人：安迈特科技北京有限公司，
类型：新型
国别省市：