下载一种蒸发舟及真空蒸发镀膜装置的技术资料

文档序号:42102765

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本公开提供了一种蒸发舟及真空蒸发镀膜装置,蒸发舟用于真空蒸发镀膜,蒸发舟包括:蒸发舟本体,蒸发舟本体具有大致平行的第一面和第二面,第一面开设有容置槽,容置槽配置为放置靶材;其中,容置槽包括:熔化区和蒸镀区,熔化区与蒸镀区分别位于容置槽的两端...
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