一种半导体炉管加热组件测试平台制造技术

本技术涉及半导体装技术领域，尤其涉及一种半导体炉管加热组件测试平台，一种半导体炉管加热组件测试平台，包括角铁支架，所述角铁支架的底端以及中部均安装有网隔板，所述网隔板的内侧安装有铁网层，所述角铁支架的顶部安装有面板，所述面板的顶端壁穿设有开口以及透口，所述面板的右端安置有面孔。本技术通过抽屉的屉腔内用于存放各类检测仪器的，如温度检测仪器，尺寸检测仪器，抽屉的开口、透口分别用于安装显示仪器的显示面板，透气孔用于透气，面孔、封孔用于穿接线束，如电源性、信号线等，经过抽屉和铁网层配合使用，让需要降温的工件以及监测仪器，可以靠近存放，并且进行及时的检测处理，使用时更便捷。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及半导体加工，尤其涉及一种半导体炉管加热组件测试平台。

技术介绍

1、在半导体制造业，会有对工件加热的步骤，加热时工件温度会较高，如半导体炉管加热组件，处理完毕后的工件，需要晾、置降温，并对工件进行检测，而本半导体炉管加热组件测试平台就是用于对工件降温检测使用的。

2、常规的测试平台为简单的架体，如置物架，高温工件会简单的置放在架体上，进行晾、置，在架体上会设置存储板块，用于简单的晾置工件，但是由于工件的原材料加工时，需要对工件进行检测，如对工件的尺寸检测等操作，操作时，需要使用多个仪器，而普通的架体就只具有简单的置放工件的功能，一些检测仪器无法同步置放在架体上，与工件配套使用，导致其使用时的功能性较差。

技术实现思路

1、本技术的目的是提供一种半导体炉管加热组件测试平台。

2、为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：

3、一种半导体炉管加热组件测试平台，包括角铁支架，所述角铁支架的底端以及中部均安装有网隔板，所述网隔板的内侧安装有铁网层，所述角铁支架的顶部安装本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种半导体炉管加热组件测试平台，包括角铁支架(1)，其特征在于，所述角铁支架(1)的底端以及中部均安装有网隔板(2)，所述网隔板(2)的内侧安装有铁网层(3)，所述角铁支架(1)的顶部安装有面板(4)，所述面板(4)的顶端壁穿设有开口(7)以及透口(8)，所述面板(4)的右端安置有面孔(5)，所述面板(4)的左右两端壁均安装有推手(6)，所述面板(4)的内侧安装有抽屉(9)，所述抽屉(9)的前端壁开设有透气孔(10)，所述抽屉(9)的左端内壁穿设有封孔(11)，所述抽屉(9)的内部开设有屉腔(12)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体炉管加热组件测试平台，其特征在于，所...

【技术特征摘要】

1.一种半导体炉管加热组件测试平台，包括角铁支架(1)，其特征在于，所述角铁支架(1)的底端以及中部均安装有网隔板(2)，所述网隔板(2)的内侧安装有铁网层(3)，所述角铁支架(1)的顶部安装有面板(4)，所述面板(4)的顶端壁穿设有开口(7)以及透口(8)，所述面板(4)的右端安置有面孔(5)，所述面板(4)的左右两端壁均安装有推手(6)，所述面板(4)的内侧安装有抽屉(9)，所述抽屉(9)的前端壁开设有透气孔(10)，所述抽屉(9)的左端内壁穿设有封孔(11)，所述抽屉(9)的内部开设有屉腔(12)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体炉管加热组件测试平台，其特征在于，所述角铁支架(1)与网隔板(2)之间相固定连...

【专利技术属性】
技术研发人员：施玉德，李超，
申请(专利权)人：吉姆西半导体科技无锡股份有限公司，
类型：新型
国别省市：