【技术实现步骤摘要】
本专利技术实施例涉及计算机，尤其涉及一种压力均匀度检测方法、装置、设备和存储介质。
技术介绍
1、在半导体制造过程中，芯片压力测试时表面压力分布是至关重要的环节。不均匀的压力分布可能导致检测误差和芯片性能下降，甚至引发物理损伤。因此，准确评估压力分布对于保证芯片质量和性能具有重大意义。
2、现有技术中，通常利用压力测量胶片来呈现芯片的压力分布，通过人工目检来判断芯片的压力分布。
3、但是，人工目检的主观性较强，容易出现误判，且效率低下。
技术实现思路
1、本专利技术提供一种压力均匀度检测方法、装置、设备和存储介质，以降低均匀度检测的成本和复杂度。
2、第一方面，本专利技术实施例提供了一种压力均匀度检测方法，包括：
3、获取感压图像，其中，所述感压图像为受压物体承受压力后，设置于所述受压物体表面的感压纸的图像；
4、提取所述感压图像的颜色信息后，根据所述感压图像的所述颜色信息确定所述感压图像的特征图；
5、基于所述感压图...
【技术保护点】
1.一种压力均匀度检测方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的压力均匀度检测方法，其特征在于，提取所述感压图像的颜色信息后，根据所述感压图像的所述颜色信息确定所述感压图像的特征图，包括：
3.根据权利要求1所述的压力均匀度检测方法，其特征在于，在基于所述感压图像的所述特征图绘制特征等高线之前，还包括：
4.根据权利要求3所述的压力均匀度检测方法，其特征在于，对所述中间特征图进行插值，得到目标特征图，包括：
5.根据权利要求4所述的压力均匀度检测方法，其特征在于，基于所述感压图像的所述特征图绘制特征等高线，得到所...
【技术特征摘要】
1.一种压力均匀度检测方法，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的压力均匀度检测方法，其特征在于，提取所述感压图像的颜色信息后，根据所述感压图像的所述颜色信息确定所述感压图像的特征图，包括：
3.根据权利要求1所述的压力均匀度检测方法，其特征在于，在基于所述感压图像的所述特征图绘制特征等高线之前，还包括：
4.根据权利要求3所述的压力均匀度检测方法，其特征在于，对所述中间特征图进行插值，得到目标特征图，包括：
5.根据权利要求4所述的压力均匀度检测方法，其特征在于，基于所述感压图像的所述特征图绘制特征等高线，得到所述感压图像对应...
【专利技术属性】
技术研发人员：徐振，许修健，
申请(专利权)人：杭州芯海半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：
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