【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体，尤其涉及一种基于半导体虚拟机台的仿真参数确定方法、设备、介质及产品。
技术介绍
1、在半导体
中，仿真机台是指用于模拟半导体制造过程中各种物理和化学现象的计算机系统或软件。所述仿真机台的目的是在不实际制造物理芯片的情况下，预测和分析半导体器件的性能、制造过程中的问题以及优化生产流程。通过使用所述仿真机台，工程师可以在设计和生产阶段发现潜在的问题，可以在不承担高昂试错成本的情况下，提高半导体器件的设计和制造效率。
2、其中，半导体工艺配方(recipe)是指在半导体制造过程中，用于指导特定工艺步骤的一系列详细参数和操作步骤。进一步地，输入至所述仿真机台中的recipe的一系列参数称为仿真参数。仿真参数用于确定所述仿真机台中的仿真模型的行为和性能，以便所述仿真机台模拟实际生产过程中的各种情况。可见，仿真参数的取值可以直接影响芯片制造过程的一致性和可重复性，进而影响芯片的性能和质量，对于半导体的生产制造至关重要。
3、相关技术中，一般需要基于仿真机台进行多次仿真实验的尝试之后，基于各种仿真实验的...
【技术保护点】
1.一种基于半导体虚拟机台的仿真参数确定方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据各目标仿真参数的当前取值和初始权重进行仿真实验，确定预测的仿真结果包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在根据各目标仿真参数的当前取值和初始权重进行仿真实验，确定预测的仿真结果之前，所述方法还包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在根据各目标仿真参数的当前取值和初始权重进行仿真实验，确定预测的仿真结果之前，所述方法还包括：
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述确定所述预...
【技术特征摘要】
1.一种基于半导体虚拟机台的仿真参数确定方法，其特征在于，所述方法包括：
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，根据各目标仿真参数的当前取值和初始权重进行仿真实验，确定预测的仿真结果包括：
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在根据各目标仿真参数的当前取值和初始权重进行仿真实验，确定预测的仿真结果之前，所述方法还包括：
4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在根据各目标仿真参数的当前取值和初始权重进行仿真实验，确定预测的仿真结果之前，所述方法还包括：
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述确定所述预测的仿真结果和真实值之间的差距值包括：
...【专利技术属性】
技术研发人员：毛涛，
申请(专利权)人：上海朋熙半导体有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。