【技术实现步骤摘要】
本技术涉及光伏组件生产设备领域，特别是涉及一种改善扩散方阻均匀性的新型扩散通磷源装置。
技术介绍
1、在光伏电池生产过程中，扩散工序用于制备光伏电池的核心组件pn节，其通过氮气等惰性气体流经三氯氧磷源瓶将磷源携带进扩散炉，经扩散炉高温加热后使磷源还原为磷原子并与硅片结合构成pn节。随着光伏行业快速发展，硅片的尺寸越来越大，与之对应的扩散炉尺寸也越来越大，携带磷源的惰性气体在扩散炉内的分布均匀性直接影响电池片效率。
2、为提高气体分布均匀性，专利cn216624217u公开了一种反应气体可均匀扩散的历史扩散炉，通过增加出气孔的方式提高气体分布均匀性，但各个出气孔均设置于扩散炉一侧，输送气体时必然导致扩散炉内一侧气体多、另一侧气体少，未能充分解决气体均匀分布的问题。
3、有鉴于此，如何提供一种能够保证扩散炉内气体均匀分布的装置，是本领域人员亟需解决的技术问题。
技术实现思路
1、本技术的目的是提供一种改善扩散方阻均匀性的新型扩散通磷源装置，以解决现有技术存在的问题，可实...
【技术保护点】
1.一种改善扩散方阻均匀性的新型扩散通磷源装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种改善扩散方阻均匀性的新型扩散通磷源装置，其特征在于，所述进气管(5)有多个，多个进气管(5)的另一端沿所述外炉体(2)的长度方向均匀间隔设置。
3.根据权利要求2所述的一种改善扩散方阻均匀性的新型扩散通磷源装置，其特征在于，所述进气管(5)有两组，两组所述进气管(5)相对于所述内炉体(1)的轴线对称设置。
4.根据权利要求3所述的一种改善扩散方阻均匀性的新型扩散通磷源装置，其特征在于，还包括连接管(8)，所述连接管(8)与两组所述进气管(...
【技术特征摘要】
1.一种改善扩散方阻均匀性的新型扩散通磷源装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的一种改善扩散方阻均匀性的新型扩散通磷源装置，其特征在于，所述进气管(5)有多个，多个进气管(5)的另一端沿所述外炉体(2)的长度方向均匀间隔设置。
3.根据权利要求2所述的一种改善扩散方阻均匀性的新型扩散通磷源装置，其特征在于，所述进气管(5)有两组，两组所述进气管(5)相对于所述内炉体(1)的轴线对称设置。
4.根据权利要求3所述的一种改善扩散方阻均匀性的新型扩散通磷源装置，其特征在于，还包括连接管(8)，所述连接管(8)与两组所述进气管(5)的一端连接，所述三氯氧磷源瓶(7)与所述连接管(8)连通。
5.根据权利要求2所述的一种改善扩散方阻均匀性的新型扩散通磷源装置，其特征在于，所述内炉体(1)对应...
【专利技术属性】
技术研发人员：任园园，汪振鲁，
申请(专利权)人：一道新能源科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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