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本技术公开一种改善扩散方阻均匀性的新型扩散通磷源装置，属于光伏电池生产设备领域，包括：扩散炉，扩散炉包括内炉体、外炉体、进口炉盖和出口炉盖，内炉体和外炉体之间形成气流通道，内炉体贯穿内外表面均匀开设有多个进气孔；进气管，进气管一端与三氯氧磷...
该专利属于一道新能源科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过一道新能源科技股份有限公司授权不得商用。

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