一种电子枪束斑标定装置及标定方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种电子枪束斑标定装置和方法，该标定装置包括：上板，其上布置多个粗标定孔；下板，其上布置多个精标定孔，两板平行布置且相互绝缘，粗标定孔与精标定孔同心；信号采集装置，用于采集流过上板和下板的电流信号；计算机设备，用于处理所采集的电流信号。该标定方法提供一种信号处理算法能够完成电子束的位置标定并获得电子束束斑的等效尺寸和长轴偏角，进行像散和聚焦调整，实现束斑的大小标定，无需用到拍摄成像装置，标定可靠成本低，且相比于其他基于束流信号的标定方法，此方法的扫描策略简单，可靠性高、标定效率较高。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于增材制造邻域，具体涉及一种电子枪束斑标定装置及标定方法。

技术介绍

1、电子束选区熔化技术(ebsm)的能量源来自于电子枪，通过加热电子枪的灯丝发射出电子，加速后形成电流，进行预热、熔化功能。成形过程为首先由计算机对cad模型进行切片和分层，设备重复完成铺粉、预热、根据切片轮廓数据选择性熔化成形、平台下降直到零件最终成形。由于其能量密度高、扫描速度快、预热温度高、真空环境避免材料氧化等优点，广泛应用在医疗、航空航天领域。

2、电子束选区融化技术的成形质量和成形精度与电子枪在工作平面的束斑大小和位置偏差息息相关。束斑尺寸过大会导致束斑的能量不集中造成加工缺陷，束斑的位置偏差和形状畸变会导致加工精度降低。电子束在整个工作平面扫描时，当偏转距离改变时，电子束的聚焦平面改变，电子束的形态也会发生不同程度的畸变，因此在加工之前电子束要进行标定，使其在工作平面的任何位置保持较好的聚焦，且位置偏差满足打印要求。

3、相关技术中，束斑的标定方法主要有基于肉眼的手动标定、基于图像处理的自定标定和基于束流信号的自动标定。手动标定采用肉眼观本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种电子枪束斑标定装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的一种电子枪束斑标定装置，其特征在于，上板和下板均为导电材料，且平面度在0.01mm以内。

3.如权利要求1所述的一种电子枪束斑标定装置，其特征在于，下板的上表面的平面高度为工作平面所需高度。

4.如权利要求1所述的一种电子枪束斑标定装置，其特征在于，上板和下板之间通过板件连接件连接在一起。

5.一种电子枪束斑标定方法，其特征在于，该方法采用权利要求1-4中任一项所述的一种电子枪束斑标定装置，包括：

6.如权利要求5所述的一种电子枪束斑标定方法，其特征在于，在全...

【技术特征摘要】

1.一种电子枪束斑标定装置，其特征在于，包括：

2.如权利要求1所述的一种电子枪束斑标定装置，其特征在于，上板和下板均为导电材料，且平面度在0.01mm以内。

3.如权利要求1所述的一种电子枪束斑标定装置，其特征在于，下板的上表面的平面高度为工作平面所需高度。

4.如权利要求1所述的一种电子枪束斑标定装置，其特征在于，上板和下板之间通过板件连接件连接在一起。

5.一种电子枪束斑标定方法，其特征在于，该方法采用权利要求1-4中任一项所述的一种电...

【专利技术属性】
技术研发人员：郭文华，郑稳，冯祖仁，赵纪元，訾艳阳，
申请(专利权)人：西安交通大学，
类型：发明
国别省市：