下载一种电子枪束斑标定装置及标定方法的技术资料

文档序号:42028016

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本发明公开了一种电子枪束斑标定装置和方法,该标定装置包括:上板,其上布置多个粗标定孔;下板,其上布置多个精标定孔,两板平行布置且相互绝缘,粗标定孔与精标定孔同心;信号采集装置,用于采集流过上板和下板的电流信号;计算机设备,用于处理所采集的电...
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