【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及半导体制造，更具体地，涉及一种应用于远程等离子源的点火方法、系统及设备。
技术介绍
1、目前，用于产生氟原子的远程等离子体源广泛用于半导体处理工业中的腔室清洁，特别是用于沉积的腔室的清洁。远程等离子体源的使用避免了典型的原位腔室清洁的内部腔室材料的侵蚀。远程等离子体源的工作一般先通入氩气或者氦气并施加高压进行预激发(点火)，然后通入清洁气体入nf3电离产生原子进行腔室清洁。
2、常规远程等离子源点火方式为通过电极对蓝宝石玻璃进行介质阻挡放电，从而让腔体内部启辉的过程，该结构复杂，需要较高电压，蓝宝石玻璃有击穿的风险，同样，还需要对蓝宝石进行真空密封设计，这给腔室漏气造成了风险。
3、在本专利技术技术之前，现有技术中在电路方面，常规使用串联负载谐振变换器作为点火电路，一旦等离子体点燃，施加器变压器的初级绕组的电感被有效地短路，此时电感减小电路谐振频率会变高，谐振变换器进入容性状态，使得额外的第二较高谐振频率电流能够流到开关功率半导体器件。短路电流给半导体器件带来了难以消除的硬开关，但为了可靠工作，必须...
【技术保护点】
1.一种应用于远程等离子源的点火方法，其特征在于，该方法包括：
2.如权利要求1所述的一种应用于远程等离子源的点火方法，其特征在于，所述采用耦合电容控制放电能量并设置2个点火电源OUT1和OUT2，具体包括：
3.如权利要求1所述的一种应用于远程等离子源的点火方法，其特征在于，所述设置腔室结构，用于与2个点火电源OUT1和OUT2连接，形成电容耦合放电区，具体包括：
4.如权利要求1所述的一种应用于远程等离子源的点火方法，其特征在于，所述利用腔室结构和离子源点火电路设置点火流程，具体包括：
5.如权利要求1所述的一种应用...
【技术特征摘要】
1.一种应用于远程等离子源的点火方法，其特征在于，该方法包括：
2.如权利要求1所述的一种应用于远程等离子源的点火方法，其特征在于，所述采用耦合电容控制放电能量并设置2个点火电源out1和out2，具体包括：
3.如权利要求1所述的一种应用于远程等离子源的点火方法，其特征在于，所述设置腔室结构，用于与2个点火电源out1和out2连接，形成电容耦合放电区，具体包括：
4.如权利要求1所述的一种应用于远程等离子源的点火方法，其特征在于，所述利用腔室结构和离子源点火电路设置点火流程，具体包括：
5.如权利要求1所述的一种应用于远程等离子源的点火方法，其特征在于，所述根据历史测试数据学习获得最优的预设时间长，具体包括：
6.如权利要求1所述的一种应用于远程等离子源的...
【专利技术属性】
技术研发人员：冼健威，孙俊，颜罕，
申请(专利权)人：东莞市晟鼎精密仪器有限公司，
类型：发明
国别省市：
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