温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及半导体制造技术领域，更具体地，涉及一种应用于远程等离子源的点火方法、系统及设备。该方案包括采用耦合电容控制放电能量并设置2个点火电源OUT1和OUT2；设置腔室结构，用于与2个点火电源OUT1和OUT2连接，形成电容耦合放电区；利...
该专利属于东莞市晟鼎精密仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东莞市晟鼎精密仪器有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。