一种MEMS老化箱制造技术

本技术公开了一种MEMS老化箱，属于半导体加工技术领域；包括：箱体、箱门、老化台基座、夹持板和第二垫高件，老化台包括底板、PCB基板、带套弹簧探针；夹持板正对每束带套弹簧探针的区域处均开设有夹持孔；通过在PCB基板上与带套弹簧探针建立临时性电气连接，传感器插设于夹持孔内时，传感器的引脚通过与带套弹簧探针接触，建立与PCB基板电气连接；夹持孔固定传感器，防止其倾倒；带套弹簧探针支撑传感器，所以夹持孔和带套弹簧探针配合使用，能够保持传感器在老化箱内保持不动，进行老化；老化结束后，可以立即进行标定，不需要再次建立传感器和PCB基板的电连接；实现老化和标定的无缝切换。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种mems老化箱，属于半导体加工。

技术介绍

1、老化箱，是一种模拟传感器长期使用和环境影响的设备，以测试和评估传感器在各种条件下的稳定性、性能和可靠性。mems老化箱是专门应用于mems设备的老化箱。mems设备的气敏传感器和半导体传感器在老化测试时，通过夹持件固定在老化箱内部。虽然现在夹持件种类和结构多样，但是现有夹持件都是通过将传感器悬浮于老化箱内，以实现传感器的老化。但是随后进行的标定操作中，需要将传感器与pcb板电连接。所以从老化操作切换到标定操作需要更换传感器的固定方式，使用不便。

技术实现思路

1、本技术所要解决的技术问题在于，从老化操作切换到标定操作需要更换传感器的固定方式。

2、本技术所要解决的技术问题采取以下技术方案来实现：

3、方案一：一种mems老化箱，包括：箱体，所述箱体配套设置有箱门；老化台基座，所述老化台基座固定安装于箱体内部；所述老化台基座包括底板和固定安装于底板上的pcb基板，所述pcb基板上固定连接有若干束带套弹簧探针；夹持板，所述夹持板本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种MEMS老化箱，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种MEMS老化箱，其特征在于，所述底板（401）上固定连接有若干支撑柱（3），若干所述支撑柱（3）的顶端贯穿PCB基板（402）。

3.根据权利要求2所述的一种MEMS老化箱，其特征在于，所述支撑柱（3）上固定连接有使PCB基板（402）悬浮于底板（401）上的第一垫高件（403），所述PCB基板（402）由第一垫高件（403）支撑。

4.根据权利要求2所述的一种MEMS老化箱，其特征在于，所述支撑柱（3）还贯穿夹持板（5），所述支撑柱（3）上活动套设有连接套，所述连接套由PCB基板...

【技术特征摘要】

1.一种mems老化箱，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种mems老化箱，其特征在于，所述底板（401）上固定连接有若干支撑柱（3），若干所述支撑柱（3）的顶端贯穿pcb基板（402）。

3.根据权利要求2所述的一种mems老化箱，其特征在于，所述支撑柱（3）上固定连接有使pcb基板（402）悬浮于底板（401）上的第一垫高件（403），所述pcb基板（402）由第一垫高件（403）支撑。

4.根据权利要求2所述的一种mems老化箱，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：万辉明，黄景，
申请(专利权)人：上海复感科技有限公司，
类型：新型
国别省市：