【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于光电探测器，涉及一种基于法布里-珀罗谐振腔的高带宽-量子效率积光电探测器结构。
技术介绍
1、近年来，互联网流量的快速增长、数据中心互联需求的增长、5g网络的建设以及高速光通信的需求不断增长，已逐渐成为信息通信技术发展的重要基础，在各个领域有着广泛的应用前景。数据中心、5g网络、云计算、高清视频流等应用需要能够高效传输大量数据的解决方案，高速光通信已成为满足这些需求的关键技术之一。在高速光通信系统中，光电探测器是将光信号转换为电信号的关键组件，其必须具备高带宽、高灵敏度和低噪声的特性，以实现高速大容量数据传输。
2、基于第二代半导体的iii-v族化合物半导体光电探测器芯片，由于iii-v族化合物半导体带隙为直接带隙，且具有高的载流子迁移率，在理论上被认为是具有高的光电转化效率且可以实现高速工作的。但在实际器件结构中，为了减少载流子渡越时间来提高带宽，往往采用具有短吸收区的光电探测器结构，很难达到高的量子效率。高速光电探测器芯片在数据中心、高速数据通信等领域扮演着至关重要的角色。高速大容量的数据传输需要光电探测器...
【技术保护点】
1.一种基于法布里-珀罗谐振腔的高带宽-量子效率积光电探测器，其特征在于：其包括抗反射膜、下反射镜以及位于所述抗反射膜和下反射镜之间的谐振腔层；所述谐振腔层包括上间隔层、下间隔层以及位于所述上间隔层和下间隔层之间的吸收层；所述上间隔层与所述抗反射膜接触，所述下间隔层与所述下反射镜接触。
2.根据权利要求1所述的光电探测器，其特征在于：所述谐振腔层的光学厚度需满足谐振条件：
3.根据权利要求1所述的光电探测器，其特征在于：所述抗反射膜和下反射镜的反射率需满足量子效率最大化条件：
4.根据权利要求3所述的光电探测器，其特征在于：所述抗反...
【技术特征摘要】
1.一种基于法布里-珀罗谐振腔的高带宽-量子效率积光电探测器，其特征在于：其包括抗反射膜、下反射镜以及位于所述抗反射膜和下反射镜之间的谐振腔层；所述谐振腔层包括上间隔层、下间隔层以及位于所述上间隔层和下间隔层之间的吸收层；所述上间隔层与所述抗反射膜接触，所述下间隔层与所述下反射镜接触。
2.根据权利要求1所述的光电探测器，其特征在于：所述谐振腔层的光学厚度需满足谐振条件：
3.根据权利要求1所述的光电探测器，其特征在于：所述抗反射膜和下反射镜的反射率需满足...
【专利技术属性】
技术研发人员：李光昊，黄晓峰，谢芳吉，张鹏辉，任江，漆雪松，兰林，任丽，牟松，崔大健，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十四研究所，
类型：发明
国别省市：
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