下载基于法布里-珀罗谐振腔的高带宽-量子效率积光电探测器的技术资料

文档序号:42020064

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本发明涉及一种基于法布里‑珀罗谐振腔的高带宽‑量子效率积光电探测器,属于光电探测技术领域。该光电探测器包括抗反射膜、下反射镜,以及位于抗反射膜和下反射镜之间的谐振腔层。其中谐振腔层包括吸收层,以及可根据需要设置或不设置的上间隔层和下间隔层。...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十四研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国电子科技集团公司第四十四研究所授权不得商用。

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