【技术实现步骤摘要】
本申请涉及光学掩膜板清洗，特别是涉及一种夹持机构和清洗装置。
技术介绍
1、光学掩模板是一种由表面记载着图形、文字等信息的金属层薄膜和高纯度熔融石英或其它透明材质基板组合而成的光学模具，被广泛应用于用微电子加工或半导体生产曝光工序中。在清洗光学掩模板时，先用卡盘将光学掩膜板固定住，在使用清洗工具进行清洗光学掩膜板。但是现有的光学掩膜板的夹头是固定的，使得卡盘只能存放一种尺寸的光学掩膜板。因此，该光卡盘无法对应于多种尺寸的光学掩膜板。
技术实现思路
1、本申请主要解决的技术问题是提供一种夹持机构和清洗装置，解决卡盘只能加持一种尺寸的光学掩膜板的问题。
2、为解决上述技术问题，本申请采用的第一个技术方案是：提供一种夹持机构，夹持机构包括底座、齿轮和至少两组夹持部，齿轮转动设置于底座上；夹持部包括齿条和夹头；至少两个齿条阵列分布，且与齿轮啮合；齿条滑动设置于底座上，且与夹头连接；其中，齿轮带动至少两组夹持部的齿条滑动，以使得至少两组夹头相互靠近或相互远离。
3、这样一来，...
【技术保护点】
1.一种夹持机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的夹持机构，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的夹持机构，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的夹持机构，其特征在于，
5.根据权利要求4所述的夹持机构，其特征在于，
6.根据权利要求1所述的夹持机构，其特征在于，
7.根据权利要求1～6中的任一项所述的夹持机构，其特征在于，
8.一种清洗装置，其特征在于，包括：
9.根据权利要求8所述的清洗装置，其特征在于，
10.一种清洗装置，其特征在于，包括：
【技术特征摘要】
1.一种夹持机构，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的夹持机构，其特征在于，
3.根据权利要求2所述的夹持机构，其特征在于，
4.根据权利要求3所述的夹持机构，其特征在于，
5.根据权利要求4所述的夹持机构，其特征在于，
<...【专利技术属性】
技术研发人员：牛志刚，白永智，雷健，
申请(专利权)人：深圳市龙图光罩股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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