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本申请提供一种夹持机构和清洗装置，解决卡盘只能加持一种尺寸的光学掩膜板的问题。夹持机构包括底座、齿轮和至少两组夹持部，齿轮转动设置于底座上；夹持部包括齿条和夹头；至少两个齿条阵列分布，且与齿轮啮合；齿条滑动设置于底座上，且与夹头连接；其中，...
该专利属于深圳市龙图光罩股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市龙图光罩股份有限公司授权不得商用。

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