一种用于插片机的硅片移动装置制造方法及图纸

技术编号:42005708 阅读:18 留言:0更新日期:2024-07-12 12:27
本申请公开了一种用于插片机的硅片移动装置,涉及硅片生产技术领域。本申请包括:机架,其上设置有输送机构与固定架,通过所述输送机构将硅片从水槽输送到花篮中,所述固定架上设置有依次连通的固定筒、连接管以及出风头,所述出风头上构造有出风口,所述固定筒内滑动设置有活塞,所述固定筒上连通有进风管,所述进风管与连接管上均设置有单向阀。本申请在使用时,通过输送机构将硅片从水槽输送到花篮中,通过驱动件驱使活塞沿水平方向直线往复滑动,活塞会先滑动至远离连接管,外界空气由进风管进入固定筒内,之后活塞会滑动至返回初始位置,通过活塞对固定筒内的空气进行压缩加速,加速后的空气由连接管进入出风头。

【技术实现步骤摘要】

本申请涉及硅片生产,具体涉及一种用于插片机的硅片移动装置


技术介绍

1、硅片一般是指由单晶硅切割成的薄片,主要用来生产集成电路。全自动插片机是硅片生产中不可或缺的机械设备,解决了硅片在清洗前手工装入花篮的问题,在现有技术中,通常采用输送机构将硅片从水槽输送到花篮中,但从水槽中取出的硅片通常会携带一定量的液体,在液体的作用下,进入花篮中的相邻两个硅片之间容易发生粘连,从而容易导致插片机出现卡片的情况,影响插片效率,因此提出一种用于插片机的硅片移动装置。


技术实现思路

1、本申请的目的在于:为解决从水槽中取出的硅片通常会携带一定量的液体,在液体的作用下,进入花篮中的相邻两个硅片之间容易发生粘连,从而容易导致插片机出现卡片的情况,影响插片效率的技术问题,本申请提供了一种用于插片机的硅片移动装置。

2、本申请为了实现上述目的具体采用以下技术方案:

3、一种用于插片机的硅片移动装置,包括:

4、机架,其上设置有输送机构与固定架,通过所述输送机构将硅片从水槽输送到花篮中,所述固定架上本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种用于插片机的硅片移动装置,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的一种用于插片机的硅片移动装置,其特征在于,所述输送机构(2)包括均转动设置在机架(1)上且间隔分布的多个输送辊(201),相邻两个所述输送辊(201)之间均通过两个对称分布的皮带轮组件(202)传动连接,所述机架(1)上设置有输出轴与其中一个输送辊(201)连接的输送电机(203)。

3.根据权利要求1所述的一种用于插片机的硅片移动装置,其特征在于,所述出风头(6)的纵截面构造呈锥形,所述出风口(7)构造呈条形。

4.根据权利要求1所述的一种用于插片机的硅片移动装置,其特征在...

【技术特征摘要】

1.一种用于插片机的硅片移动装置,其特征在于,包括:

2.根据权利要求1所述的一种用于插片机的硅片移动装置,其特征在于,所述输送机构(2)包括均转动设置在机架(1)上且间隔分布的多个输送辊(201),相邻两个所述输送辊(201)之间均通过两个对称分布的皮带轮组件(202)传动连接,所述机架(1)上设置有输出轴与其中一个输送辊(201)连接的输送电机(203)。

3.根据权利要求1所述的一种用于插片机的硅片移动装置,其特征在于,所述出风头(6)的纵截面构造呈锥形,所述出风口(7)构造呈条形。

4.根据权利要求1所述的一种用于插片机的硅片移动装置,其特征在于,所述出风口(7)的出风方向与硅片的输送方向之间形成锐角。

5.根据权利要求1所述的一种用于插片机的硅片移动装置,其特征在于,所述出风头(6)内设置有构造呈...

【专利技术属性】
技术研发人员:冯显火
申请(专利权)人:江苏泰明易自动化设备有限公司
类型:新型
国别省市:

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