一种薄膜层的裁切方法技术

本发明专利技术公开了一种薄膜层的裁切方法，涉及薄膜裁切技术领域，以解决由于薄膜过脆，因此在对大尺寸的ABF薄膜剪切过程中，易导致大尺寸的ABF薄膜碎裂，进而导致获得的条状ABF薄膜样品碎裂，条状ABF薄膜样品质量不合格的问题。所述薄膜层的裁切方法包括：获取薄膜结构；薄膜结构包括依次层叠设置的第一材料层、薄膜层和第二材料层；第一材料层和第二材料层分别与薄膜层键合连接；利用固定装置压合固定薄膜结构，固定装置具有至少两个间隔分布的裁切缝隙；沿裁切缝隙的边缘裁切薄膜结构，以获得裁切后薄膜结构；裁切后薄膜结构完全被固定装置压合固定；处理裁切后薄膜结构，以去除第一材料层和第二材料层并获得多个薄膜。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及薄膜裁切，尤其涉及一种薄膜层的裁切方法。

技术介绍

1、在对脆性薄膜材料进行物性测试时，需要将由脆性薄膜材料制成薄膜条状样品。例如，对于abf材料。现有技术中，通常利用双面设置的铜箔将abf材料压合，以形成铜箔、abf材料和铜箔的叠层结构。接着，对上述叠层结构进行固化处理，此时abf材料形成大尺寸的abf薄膜(ajinomoto build-up film)。然后，将双面设置的铜箔去除，仅留下大尺寸的abf薄膜。之后，对大尺寸的abf薄膜进行剪切，以获得满足实际需要的尺寸的条状abf薄膜样品。

2、但是，由于薄膜过脆，因此在对大尺寸的abf薄膜剪切过程中，易导致大尺寸的abf薄膜碎裂，进而导致获得的条状abf薄膜样品碎裂，条状abf薄膜样品质量不合格。

技术实现思路

1、本专利技术的目的在于提供一种薄膜层的裁切方法，用于降低或消除最终裁切获得的条状abf薄膜样品碎裂的概率，以确保获得的条状abf薄膜样品的质量。

2、为了实现上述目的，本专利技术提供了一种薄膜层的裁切方法。本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种薄膜层的裁切方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的薄膜层的裁切方法，其特征在于，获取薄膜结构包括：

3.根据权利要求1所述的薄膜层的裁切方法，其特征在于，获取薄膜结构包括：

4.根据权利要求2或3所述的薄膜层的裁切方法，其特征在于，在两个所述薄膜材料上分别设置第二材料层后，所述薄膜层的裁切方法还包括：对所述薄膜材料进行固化处理，以获得固化后的薄膜层；

5.根据权利要求1至3任一项所述的薄膜层的裁切方法，其特征在于，所述第一材料层包括铜第一材料层或铝第一材料层；

6.根据权利要求3所述的薄膜层的裁切方法，其特征...

【技术特征摘要】

1.一种薄膜层的裁切方法，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的薄膜层的裁切方法，其特征在于，获取薄膜结构包括：

3.根据权利要求1所述的薄膜层的裁切方法，其特征在于，获取薄膜结构包括：

4.根据权利要求2或3所述的薄膜层的裁切方法，其特征在于，在两个所述薄膜材料上分别设置第二材料层后，所述薄膜层的裁切方法还包括：对所述薄膜材料进行固化处理，以获得固化后的薄膜层；

5.根据权利要求1至3任一项所述的薄膜层的裁切方法，其特征在于，所述第一材料层包括铜第一材料层或铝第一材料层；

6.根据权利要求3所述的薄膜层的裁切方法，其特征在于，所述第三材料层包括铜第三材料层或铝第三材料层；所述第三材料层的厚度...

【专利技术属性】
技术研发人员：于中尧，杨芳，
申请(专利权)人：中国科学院微电子研究所，
类型：发明
国别省市：