基于光谱法的等离子体测量校准装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种基于光谱法的等离子体测量校准装置及方法，装置包括：真空罐体，其内部设有反应腔室；其两侧设有测量窗口；测量窗口包括沿真空罐体的中心轴线对称分布的探针测量窗口和光谱测量窗口；等离子体源，与反应腔室连通，用于产生标准等离子体；真空系统，与罐体内连通；探针检测装置和光谱检测装置，分别设置在同组的探针测量窗口和光谱测量窗口内；分析控制器，与探针检测装置和光谱检测装置电连接，用于根据探针检测装置和光谱检测装置的检测结果，对光谱检测装置进行校准。本发明专利技术通过探针检测装置与光谱检测装置对标准等离子体的同样位置进行测量，利用探针检测装置的测量结果对光谱检测装置进行校准，提高了光谱法测量结果的准确性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及等离子体测量，尤其涉及一种基于光谱法的等离子体测量校准装置及方法。

技术介绍

1、等离子体是由光子、电子、基态原子(或分子)、激发态原子(或分子)、以及正离子和负离子六种基本粒子构成的准电中性组合体，在航天电推进、空间等离子体、半导体诊断等领域备受关注。

2、等离子体特性研究是评估电推进性能及分析等离子体对材料表面及空间环境的力、热、电效应的重要依据。而电子温度和电子密度是等离子体最主要的性能参数，光谱法是用于等离子体的电子温度和电子密度测量的一种典型的非接触式诊断方法，在诊断等离子体性质时具有无接触、可实时性测量、响应快等特点，但由于光谱诊断使用的物理模型需要诸多假设，难以全部考虑等离子体源放电通道内特定的等离子体环境，导致最终获得的诊断结果出现与真实结果相偏离的情况。

技术实现思路

1、为解决上述现有技术中存在的技术问题，本专利技术的目的在于提供一种的基于光谱法的等离子体测量校准装置及方法，可为光谱法测量提供均匀性好、能量可调的等离子环境，并对光谱测试结果进行校准，从而提高光谱测本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种基于光谱法的等离子体测量校准装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的基于光谱法的等离子体测量校准装置，其特征在于，所述测量窗口为沿所述真空罐体(5)设置的若干组。

3.根据权利要求1所述的基于光谱法的等离子体测量校准装置，其特征在于，所述等离子体源(1)包括：

4.根据权利要求3所述的基于光谱法的等离子体测量校准装置，其特征在于，所述射频功率源包括串联的射频电源和第一电阻，所述第一电阻的两端分别与所述射频电源和所述第一可调电容连接，所述第二可调电容的两端并联在所述射频功率源和所述第一电阻的两端。

5.根据权利要求3所述的基...

【技术特征摘要】

1.一种基于光谱法的等离子体测量校准装置，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的基于光谱法的等离子体测量校准装置，其特征在于，所述测量窗口为沿所述真空罐体(5)设置的若干组。

3.根据权利要求1所述的基于光谱法的等离子体测量校准装置，其特征在于，所述等离子体源(1)包括：

4.根据权利要求3所述的基于光谱法的等离子体测量校准装置，其特征在于，所述射频功率源包括串联的射频电源和第一电阻，所述第一电阻的两端分别与所述射频电源和所述第一可调电容连接，所述第二可调电容的两端并联在所述射频功率源和所述第一电阻的两端。

5.根据权利要求3所述的基于光谱法的等离子体测量校准装置，其特征在于，所述等离子体源(1)还包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：贾军伟，李耀，王青青，武宇婧，董学江，郎昊，常猛，马浩原，
申请(专利权)人：北京东方计量测试研究所，
类型：发明
国别省市：