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本发明涉及一种基于光谱法的等离子体测量校准装置及方法，装置包括：真空罐体，其内部设有反应腔室；其两侧设有测量窗口；测量窗口包括沿真空罐体的中心轴线对称分布的探针测量窗口和光谱测量窗口；等离子体源，与反应腔室连通，用于产生标准等离子体；真空系...
该专利属于北京东方计量测试研究所所有，仅供学习研究参考，未经过北京东方计量测试研究所授权不得商用。

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