【技术实现步骤摘要】
本申请涉及半导体制备，尤其涉及一种镊子存放装置。
技术介绍
1、镊子是一种常用的用于转移物品的工具。根据作业要求的不同，需要使用不同材质、不同类型、不同形状的镊子来转移物品，例如不锈钢镊子、防静电镊子、竹镊子、医用镊子、净化镊子、晶片镊子等。其中，防静电镊子因其由特殊导电塑胶制作而成，对于静电敏感的晶片是而言是首要选择，又因其质轻使用轻便、弹性优异，因此防静电镊子在半导体工业的多个工艺过程中充当了极其重要的角色。
2、由于防静电镊子在多个半导体工序中使用，且每个工序对工艺稳定性、洁净度的追求高，因此防静电镊子需要时刻保持洁净状态。但是在实际应用中，防静电镊子在使用后通常被随意放置在操作台面上，从而增加晶片受污染的风险。因而洁净、便捷的取放镊子显得尤为重要。
技术实现思路
1、本申请的目的旨在至少能解决上述的技术缺陷之一，特别是现有技术中晶体受污染风险高的技术缺陷。
2、本申请实施例提供了一种镊子存放装置，包括：
3、限位板，所述限位板间隔开设有多个限位部...
【技术保护点】
1.一种镊子存放装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的镊子存放装置，其特征在于，所述支撑板开设有多个限位槽，每个所述限位槽沿所述限位板的厚度方向的正投影与一所述限位孔至少部分重叠。
3.根据权利要求2所述的镊子存放装置，其特征在于，每个所述限位槽为矩形槽，且每个所述限位槽的长度方向延长线经过所述支撑板的中心。
4.根据权利要求1所述的镊子存放装置，其特征在于，所述装置还包括底座，所述底座设于所述支撑板远离所述连接轴的一面，并且与所述支撑板可转动连接；当所述支撑板相对于所述底座转动时，所述支撑板带动所述连接轴和所述限位板相...
【技术特征摘要】
1.一种镊子存放装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的镊子存放装置，其特征在于，所述支撑板开设有多个限位槽，每个所述限位槽沿所述限位板的厚度方向的正投影与一所述限位孔至少部分重叠。
3.根据权利要求2所述的镊子存放装置，其特征在于，每个所述限位槽为矩形槽，且每个所述限位槽的长度方向延长线经过所述支撑板的中心。
4.根据权利要求1所述的镊子存放装置，其特征在于，所述装置还包括底座，所述底座设于所述支撑板远离所述连接轴的一面，并且与所述支撑板可转动连接；当所述支撑板相对于所述底座转动时，所述支撑板带动所述连接轴和所述限位板相对于所述底座转动。
5.根据权利要求4所述的镊子存放装置，其特征在于，所述底座朝向所述支撑板的一面设有第一固定...
【专利技术属性】
技术研发人员：王沛，赵倩，许军，毛成状，陈虹，徐世龙，
申请(专利权)人：安徽光智科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。