一种纯化吸收制备超高纯氨水的设备及其生产工艺制造技术

本发明专利技术公开了一种纯化吸收制备超高纯氨水的设备及其生产工艺，底座；第一环体，固定安装在底座上，第一环体与底座之间形成可容纳液体的收集区域；第一管道和第二管道，固定设置在第一环体，第一管道和第二管道与第一环体内部空间连通，第一管道的高度高于第二管道；至少一个第二环体，固定在第一环体上方；顶盖，固定设置在最上层的第二环体上，连通有第三管道。本发明专利技术中饱和氨水从各流口流出，自由向下流动并砸落在轻质小球，形成向四周流向的伞状水流，并使得轻质小球在洗涤塔内作不规则运动，与轻质小球连接的线材跟随不规则运动，使得线材部分与流口内壁不断碰触、刮蹭，防止堵塞，从而实现洗涤塔可持续对输入的氨气进行洗气操作。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及氨水制备，尤其涉及一种纯化吸收制备超高纯氨水的设备及其生产工艺。

技术介绍

1、高纯电子级氨水在集成电路、led等制造行业中有着重要作用；利用氨水的弱碱性，活化硅晶圆及微粒表面，可以除去其表面颗粒、部分金属不纯物，因此，超高纯氨水广泛应用于芯片的清洗及蚀刻工艺；

2、在制备过程中含有对氨气的洗气工序，先利用氨气蒸发器将液氨蒸发为氨气，并通过洗涤塔用饱和氨水进行洗气提纯，目的在于降低氨气中toc、氯化物、金属离子等含量，在洗涤塔内主要通过管道和管道上各个喷嘴将饱和氨水喷淋方式洒下，且氨气从洗气塔底部进入并沿着洗涤塔上升，与洒下的保护氨水相互接触，饱和氨水不会吸收氨气且与氨气中各杂质混合，起到洗气作用，但专利技术人发现洗气过程中存在以下缺陷：

3、氨气中杂质跟随氨气上移，位于洗涤塔内的喷嘴在喷出保护氨水并与上移氨气接触后混合，由于长时间持续对氨气洗气操作，喷嘴的喷口处不可避免沾染并粘附，积少成多后喷嘴的喷口处容易堵塞，使得饱和氨水喷出受阻，进而影响对氨气的洗气操作。

技术实现思路

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【技术保护点】

1.一种洗涤塔，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种洗涤塔，其特征在于，喷淋管(8)内部固定设置多个竖直杆(11)，竖直杆(11)开设转动环槽(12)，转动环槽(12)转动连接转动环体(13)，线材(10)的一端与转动环体(13)外圈之间粘接，在流口(9)处固定流管(14)，线材(10)穿过流管(14)，轻质小球(23)位于流管(14)下方，则轻质小球(23)无规则运动时，转动环体(13)也会相应在地转动环槽(12)内转动。

3.根据权利要求2所述的一种洗涤塔，其特征在于，在竖直杆(11)底部同轴心固定连接圆盘(15)，圆盘(15)的直径大于流管(14...

【技术特征摘要】

1.一种洗涤塔，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的一种洗涤塔，其特征在于，喷淋管(8)内部固定设置多个竖直杆(11)，竖直杆(11)开设转动环槽(12)，转动环槽(12)转动连接转动环体(13)，线材(10)的一端与转动环体(13)外圈之间粘接，在流口(9)处固定流管(14)，线材(10)穿过流管(14)，轻质小球(23)位于流管(14)下方，则轻质小球(23)无规则运动时，转动环体(13)也会相应在地转动环槽(12)内转动。

3.根据权利要求2所述的一种洗涤塔，其特征在于，在竖直杆(11)底部同轴心固定连接圆盘(15)，圆盘(15)的直径大于流管(14)的内径，线材(10)搭持在圆盘(15)外圈并穿过流管(14)，则线材(10)位于流管(14)内的部分完全与流管(14)内壁贴合。

4.根据权利要求3所述的一种洗涤塔，其特征在于，在流管(14)外壁转动连接控制环(16)，流管(14)外壁固定套接限位环体(17)，限位环体(17)的截面呈“t”型形状，控制环(16)内圈开设限位环槽(18)，与限...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐浩，刘松，赵继广，
申请(专利权)人：江苏捷创新材料有限责任公司，
类型：发明
国别省市：