一种单晶炉漏硅引流装置制造方法及图纸

技术编号:41969383 阅读:50 留言:0更新日期:2024-07-10 16:50
本技术公开了一种单晶炉漏硅引流装置,涉及单晶硅制备技术领域,包括石英坩埚和竖直通道,竖直通道的顶部和石英坩埚的底部相连通,石英坩埚底部的四周固定安装有钼导流板,钼导流板的底部固定安装有硅溶液导流收集机构;硅溶液导流收集机构包括钼导流环、钼接液盘、下传动波纹管、钼导流管、导流管堵板和氟橡胶密封圈,钼导流环固定安装在钼导流板的底部,钼接液盘固定安装在钼导流环的底部。该一种单晶炉漏硅引流装置,通过硅溶液导流收集机构的设置,可以让硅熔液定向流动到没有风险的区域,降低安全风险及财产损失,通过规划硅熔液漏出后的路径,使硅溶液避开有水区域等危险区域,降低漏硅事故造成的风险及损失。

【技术实现步骤摘要】

本技术属于单晶硅制备,尤其涉及一种单晶炉漏硅引流装置


技术介绍

1、单晶硅制备是指通过特定的工艺将硅材料转化为单晶结构的过程。

2、目前现有光伏用单晶炉由于复投加料技术的普及,石英坩埚普遍运行时间在10天以上,在拉晶的后期,石英坩埚碎裂的可能性会增大,一旦坩埚碎裂,坩埚内的硅熔液会进入到单晶炉内部,如果漏硅量过大,硅熔液会流进抽空管道内部及下传动波纹管内,烫坏抽空管道及波纹管再流到炉外,一旦烫坏电机及线路,还会有其他的危险产生。


技术实现思路

1、本技术要解决的技术问题是:如果漏硅量过大,硅熔液会流进抽空管道内部及下传动波纹管内,烫坏抽空管道及波纹管再流到炉外。

2、本技术解决其技术问题所采用的技术方案是:一种单晶炉漏硅引流装置,包括石英坩埚和竖直通道,所述竖直通道的顶部和石英坩埚的底部相连通,所述石英坩埚底部的四周固定安装有钼导流板,所述钼导流板的底部固定安装有硅溶液导流收集机构;所述硅溶液导流收集机构包括钼导流环、钼接液盘、下传动波纹管、钼导流管、导流管堵板和氟橡胶密封圈,所述钼本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种单晶炉漏硅引流装置,包括石英坩埚(1)和竖直通道(4),其特征在于:所述竖直通道(4)的顶部和石英坩埚(1)的底部相连通,所述石英坩埚(1)底部的四周固定安装有钼导流板(2),所述钼导流板(2)的底部固定安装有硅溶液导流收集机构(3);

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉漏硅引流装置,其特征在于:所述钼导流板(2)内部为锥形状态。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉漏硅引流装置,其特征在于:所述钼接液盘(302)与钼导流管(304)通过螺纹连接。

4.根据权利要求1所述的一种单晶炉漏硅引流装置,其特征在于:所述导流管堵板(305)为熔点低且不易...

【技术特征摘要】

1.一种单晶炉漏硅引流装置,包括石英坩埚(1)和竖直通道(4),其特征在于:所述竖直通道(4)的顶部和石英坩埚(1)的底部相连通,所述石英坩埚(1)底部的四周固定安装有钼导流板(2),所述钼导流板(2)的底部固定安装有硅溶液导流收集机构(3);

2.根据权利要求1所述的一种单晶炉漏硅引流装置,其特征在于:所述钼导流板(2)内部为锥形状态。

3.根据权利要求1所述的一种单晶炉漏硅引流装置,其特征在于:所述钼接液盘(302)与钼导流管(304)通过螺纹连接。

4.根据权利要求1所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员:李维琛李润飞贾世涛
申请(专利权)人:晶澳无锡光伏科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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