【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及微纳米结构加工领域，尤其涉及一种在弹性体3d曲面表面制备微纳米结构的方法。
技术介绍
1、表面微纳米结构具有广泛的用途，例如可调控材料表面的疏水性、粘附以及光波衍射行为，在超疏水材料、强粘合剂和光学元件等方面得到了重要的应用。
2、目前，弹性体表面的规则微纳米结构通常是通过铸模法制备，即将弹性体液体浇铸到硅、石英、树脂等硬模具上并进行固化。通常，硅、石英等表面高精度的规则微纳米结构通过光刻、刻蚀工艺制备，受限于当前的加工能力，所获得的微纳米结构通常为平面结构。因此，通过铸模法得到的弹性体表面微结构也通常是平面结构。3d打印技术有望在曲面结构上制备较高精度的微结构，但是通常无法实现几个微米、纳米级别的微结构制备。
技术实现思路
1、为了解决铸模法得到的弹性体表面微结构是平面结构的问题，本专利技术提出一种在弹性体3d曲面表面制备微纳米结构的方法，解决上述问题。
2、本专利技术公开了一种在弹性体3d曲面表面制备微纳米结构的方法，包括以下步骤：
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【技术保护点】
1.一种在弹性体3D曲面表面制备微纳米结构的方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种在弹性体3D曲面表面制备微纳米结构的方法，其特征在于，所述S1中的硬模具材料为物理化学性能稳定且易刻蚀的材料。
3.根据权利要求2所述的一种在弹性体3D曲面表面制备微纳米结构的方法，其特征在于，所述S1制备具有平面表面微纳米结构的硬模具包括控制微纳米结构的面内尺寸以及控制微纳米结构的深度。
4.根据权利要求3所述的一种在弹性体3D曲面表面制备微纳米结构的方法，其特征在于，所述S2包括以下步骤：
5.根据权利要求4所述...
【技术特征摘要】
1.一种在弹性体3d曲面表面制备微纳米结构的方法，其特征在于，包括以下步骤：
2.根据权利要求1所述的一种在弹性体3d曲面表面制备微纳米结构的方法，其特征在于，所述s1中的硬模具材料为物理化学性能稳定且易刻蚀的材料。
3.根据权利要求2所述的一种在弹性体3d曲面表面制备微纳米结构的方法，其特征在于，所述s1制备具有平面表面微纳米结构的硬模具包括控制微纳米结构的面...
【专利技术属性】
技术研发人员：黄银，杨颖，陈毅豪，韩伟，
申请(专利权)人：钱塘科技创新中心，
类型：发明
国别省市：
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