【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及红外传感器，尤其是涉及一种具有集成光路开关结构的微纳红外谐振传感器及制备方法。
技术介绍
1、非制冷红外微机电传感器主要通过检测物体自身发出的红外辐射来检测温度变化。根据红外敏感材料的传感机理可分为光电型(光子型)和热探测型两种。光子型红外传感器是通过接收和检测红外光子来感知物体，具有较高的精确度和灵敏度。热探测型红外传感器则是通过感知物体的温度差异来工作，可以检测到物体的热辐射。红外传感器从获取敏感材料传感信号时的工作方式上可以分为静态传感器和动态传感器。其中静态传感器芯片可分为基于热电偶、热电堆等方式的传感原理。当红外辐射进入传感器时，它会引起探测器中的温度变化，进而产生微弱的电信号。芯片中还包括信号放大器和处理电路，用于放大和处理来自探测器的微弱信号，并将其转换成数字信号或模拟输出。动态传感器是采用微机电谐振结构实现的红外传感器，它是一种利用微机电系统技术和谐振原理来检测红外辐射的传感器。传感器内部包含一个微型化的谐振结构，通常由微加工技术制成。这个微型化的机械振动器件，具有特定的谐振频率，谐振结构中有红外敏感吸收层...
【技术保护点】
1.一种具有集成光路开关结构的微纳红外谐振传感器，其特征在于，包括谐振结构和衬底，所述谐振结构位于所述衬底的上方并与衬底之间存在空隙，所述谐振结构上方设有进光量控制结构，所述谐振结构包括谐振板，所述谐振板的上方设有压电层，所述压电层上方设有金属电极层，所述金属电极层上方设有红外敏感层，所述进光量控制结构包括由挡光板支撑梁支撑的挡光板，通过驱动挡光板支撑梁，使挡光板发生位移。
2.根据权利要求1所述的具有集成光路开关结构的微纳红外谐振传感器，其特征在于，所述谐振结构由支撑结构支撑，与衬底之间存在空隙，实现谐振振动。
3.根据权利要求1所述的具有集...
【技术特征摘要】
1.一种具有集成光路开关结构的微纳红外谐振传感器，其特征在于，包括谐振结构和衬底，所述谐振结构位于所述衬底的上方并与衬底之间存在空隙，所述谐振结构上方设有进光量控制结构，所述谐振结构包括谐振板，所述谐振板的上方设有压电层，所述压电层上方设有金属电极层，所述金属电极层上方设有红外敏感层，所述进光量控制结构包括由挡光板支撑梁支撑的挡光板，通过驱动挡光板支撑梁，使挡光板发生位移。
2.根据权利要求1所述的具有集成光路开关结构的微纳红外谐振传感器，其特征在于，所述谐振结构由支撑结构支撑，与衬底之间存在空隙，实现谐振振动。
3.根据权利要求1所述的具有集成光路开关结构的微纳红外谐振传感器，其特征在于，所述衬底的材质为硅、金刚石中的一种。
4.根据权利要求1所述的具有集成光路开关结构的微纳红外谐振传感器，其特征在于，所述红外敏感层的材质为氧化钒、硒化铟、铟锑化物、铟镉汞中的一种。
...【专利技术属性】
技术研发人员：袁泉，谈学超，蔡雪君，林慧，
申请(专利权)人：北京吉岩智创科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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