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本发明涉及红外传感器技术领域，尤其是涉及一种具有集成光路开关结构的微纳红外谐振传感器及制备方法，红外谐振传感器包括谐振结构和衬底，所述谐振结构位于所述衬底的上方并与衬底之间存在空隙，所述谐振结构上方设有进光量控制结构，所述谐振结构包括谐振板...
该专利属于北京吉岩智创科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京吉岩智创科技有限公司授权不得商用。

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