一种压电谐振红外传感器及其制备方法技术

本发明专利技术涉及红外探测技术领域，尤其是涉及一种压电谐振红外传感器及其制备方法，包括衬底和自下而上依次叠加设置的多个压电谐振器，最下层压电谐振器与衬底之间、任意相邻两个压电谐振器之间均设置有空隙，且每个压电谐振器的金属电极层均与衬底连接。本发明专利技术的压电谐振红外传感器包括纵向方向上依次叠加设置的多层压电谐振器，并且每层压电谐振器的表面可集成不同的红外敏感材料，不同敏感材料对红外光谱的吸收波段不同，吸收的能量均可作用于每个压电谐振器上，大幅提高了红外信号的吸收效率和检测灵敏度，同时具有频谱选择性，实现了单个器件的多频段传感输出，解决了红外传感器单波段吸收及吸收效率低的问题。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及红外探测，尤其是涉及一种压电谐振红外传感器及其制备方法。

技术介绍

1、红外传感器是一种可以感知和测量红外辐射的设备，其中，红外辐射是电磁波谱中的一部分，具有比可见光波长更长的波长。红外探测器可以将红外辐射转化为电信号，从而实现红外辐射的探测和测量。红外探测器的工作原理基于物体的热辐射特性，物体在温度高于绝对零度时会发出红外辐射，其强度和频谱分布与物体的温度和表面特性有关。红外探测器利用感光材料或传感器吸收红外辐射，并将其转化为电信号，电信号进一步被放大、处理和解释，以获取得到有关红外辐射源的信息。

2、目前，红外探测器在许多领域有广泛的应用，例如，它们常用于军事中的夜视设备、热成像、目标识别和导弹探测。此外，红外探测器还可以用于工业领域的温度测量、火灾报警系统、医学成像、气体检测和环境监测等应用。随着技术的进步，红外探测器的性能和应用领域将继续扩展和发展。

3、根据测量机理的不同，红外探测器可分为光子型探测器和热探测器，其中，光子型探测器也称之为制冷式红外探测器，其具有较高的信噪比和快速的响应时间，但需要低温冷却系统本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种压电谐振红外传感器，其特征在于，包括衬底(1)和自下而上依次叠加设置在所述衬底(1)上的多个压电谐振器，最下层所述压电谐振器与所述衬底(1)之间、任意相邻两个所述压电谐振器之间均设置有空隙，且每个所述压电谐振器的金属电极层(4)均通过引线与衬底(1)连接。

2.根据权利要求1所述的压电谐振红外传感器，其特征在于，所述压电谐振器包括自下而上依次设置的牺牲层(2)、压电材料谐振层(3)、金属电极层(4)和红外敏感材料层(5)，所述牺牲层(2)用于承载所述压电材料谐振层(3)，制作完成后进行释放。

3.根据权利要求2所述的压电谐振红外传感器，其特征在于，最上层所...

【技术特征摘要】

1.一种压电谐振红外传感器，其特征在于，包括衬底(1)和自下而上依次叠加设置在所述衬底(1)上的多个压电谐振器，最下层所述压电谐振器与所述衬底(1)之间、任意相邻两个所述压电谐振器之间均设置有空隙，且每个所述压电谐振器的金属电极层(4)均通过引线与衬底(1)连接。

2.根据权利要求1所述的压电谐振红外传感器，其特征在于，所述压电谐振器包括自下而上依次设置的牺牲层(2)、压电材料谐振层(3)、金属电极层(4)和红外敏感材料层(5)，所述牺牲层(2)用于承载所述压电材料谐振层(3)，制作完成后进行释放。

3.根据权利要求2所述的压电谐振红外传感器，其特征在于，最上层所述红外敏感材料层(5)中红外敏感材料的形状包括三角形、矩形、圆形和菱形中任意一种或多种形状的阵列。

4.根据权利要求2所述的压电谐振红外传感器，其特征在于，所述红外敏感材料层(5)的材料包括氧化钒、非晶硅、氧化钇、硒化铟、氧化铟锡、铟锑化物、铟镉汞、铟砷化镓和铟锑化铟中...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡雪君，袁泉，谈学超，林慧，
申请(专利权)人：北京吉岩智创科技有限公司，
类型：发明
国别省市：